[發(fā)明專(zhuān)利]搬運(yùn)機(jī)械手和清洗設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010592259.5
• 申請(qǐng)日: 2020-06-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111703881A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左國(guó)軍;任金枝;申斌;陳雷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B65G47/90
• 分類(lèi)號(hào): B65G47/90
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 尚志峰;王淑梅

本發(fā)明提供了一種搬運(yùn)機(jī)械手和清洗設(shè)備，其中，搬運(yùn)機(jī)械手包括：工作臺(tái)；框架，框架滑動(dòng)設(shè)置在工作臺(tái)上，框架的一側(cè)設(shè)置有第一導(dǎo)軌，另一側(cè)設(shè)置有第二導(dǎo)軌；第一提升組件，第一提升組件滑動(dòng)設(shè)置在第一導(dǎo)軌上；第一驅(qū)動(dòng)組件，連接于第一提升組件；第二提升組件，第二提升組件滑動(dòng)設(shè)置在第二導(dǎo)軌上；第二驅(qū)動(dòng)組件，連接于第二提升組件；抓手組件，抓手組件連接于第一提升組件和第二提升組件。本發(fā)明提供的搬運(yùn)機(jī)械手，在工件進(jìn)行搬運(yùn)的過(guò)程中，可以調(diào)節(jié)抓手組件的位置和傾斜角度，便于抓手組件抓取待搬運(yùn)工件，能夠抓取不同規(guī)格和形狀的待搬運(yùn)工件。在工件需要清洗時(shí)，可以調(diào)節(jié)工件的清洗角度，便于對(duì)工件進(jìn)行徹底清洗，能夠提高清洗效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種搬運(yùn)機(jī)械手和一種清洗設(shè)備。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中需要對(duì)爐管進(jìn)行清洗，目前常規(guī)爐管清洗，采用酸洗，水洗，干燥完成清洗。在清洗中，爐管水平或傾斜安置在搬運(yùn)機(jī)械手上，并在整個(gè)清洗和搬運(yùn)過(guò)程中爐管一直保持此狀態(tài)，在爐管清洗過(guò)程中存在死角，對(duì)于不同規(guī)格的爐管不能進(jìn)行針對(duì)性的清洗，導(dǎo)致?tīng)t管清洗效果差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。

為此，本發(fā)明第一方面提供了一種搬運(yùn)機(jī)械手。

本發(fā)明第二方面提供了一種清洗設(shè)備。

有鑒于此，根據(jù)本發(fā)明的第一方面提供了一種搬運(yùn)機(jī)械手，包括：工作臺(tái)；框架，框架滑動(dòng)設(shè)置在工作臺(tái)上，框架的一側(cè)設(shè)置有第一導(dǎo)軌，另一側(cè)設(shè)置有第二導(dǎo)軌；第一提升組件，第一提升組件滑動(dòng)設(shè)置在第一導(dǎo)軌上；第一驅(qū)動(dòng)組件，連接于第一提升組件，用于驅(qū)動(dòng)第一提升組件在第一導(dǎo)軌上移動(dòng)；第二提升組件，第二提升組件滑動(dòng)設(shè)置在第二導(dǎo)軌上；第二驅(qū)動(dòng)組件，連接于第二提升組件，用于驅(qū)動(dòng)第二提升組件在第二導(dǎo)軌上移動(dòng)；抓手組件，抓手組件連接于第一提升組件和第二提升組件。

本發(fā)明提供的搬運(yùn)機(jī)械手，在對(duì)工件進(jìn)行搬運(yùn)的過(guò)程中，框架通過(guò)工作臺(tái)滑動(dòng)到待搬運(yùn)工件處，第一驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)第一提升組件在第一導(dǎo)軌上移動(dòng)，調(diào)節(jié)第一提升組件的位置，第二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)第二提升組件在第二導(dǎo)軌上移動(dòng)，調(diào)節(jié)第二提升組件的位置，通過(guò)第一提升組件和第二提升組件的位置調(diào)節(jié)可以調(diào)節(jié)抓手組件的位置和傾斜角度，便于抓手組件抓取待搬運(yùn)工件，能夠抓取不同規(guī)格和形狀的待搬運(yùn)工件，在抓手組件抓取到待搬運(yùn)工件后，即可通過(guò)框架在工作臺(tái)上滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)待搬運(yùn)工件的位移，可以理解的是，也可以通過(guò)其他設(shè)備帶動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械手整體移動(dòng)。

本發(fā)明提供的搬運(yùn)機(jī)械手，在抓手組件固定的工件需要清洗時(shí)，可以通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)第一提升組件在第一導(dǎo)軌上移動(dòng)，調(diào)節(jié)第一提升組件的位置，第二驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)第二提升組件在第二導(dǎo)軌上移動(dòng)，調(diào)節(jié)第二提升組件的位置，進(jìn)而調(diào)節(jié)工件的清洗角度，便于對(duì)工件進(jìn)行徹底清洗，能夠提高清洗效率。

另外，本發(fā)明提供的上述技術(shù)方案中的搬運(yùn)機(jī)械手還可以具有如下附加技術(shù)特征：

在上述技術(shù)方案中，進(jìn)一步地，第一提升組件包括：第一滑塊，滑動(dòng)設(shè)置在第一導(dǎo)軌上；第一固定板，連接于第一滑塊；第一提升桿，第一提升桿的一端鉸接于第一固定板；第一連接件，第一連接件設(shè)置在第一提升桿的另一端；第二提升組件包括：第二滑塊，滑動(dòng)設(shè)置在第二導(dǎo)軌上；第二固定板，連接于第二滑塊；第二提升桿，第二提升桿的一端鉸接于第二固定板；第二連接件，設(shè)置在第二提升桿的另一端；其中，第一滑塊連接于第一驅(qū)動(dòng)組件，第二滑塊連接于第二驅(qū)動(dòng)組件，抓手組件連接于第一連接件和第二連接件。

在該技術(shù)方案中，進(jìn)一步提供了第一提升組件和第二提升組件的組成。