[發明專利]一種大功率微波等離子體粉體處理器

在審

• 申請號: 202010590323.6
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111715162A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 全峰;蔣禮;劉望宏
• 申請（專利權）人: 深圳優普萊等離子體技術有限公司
• 主分類號: B01J19/12
• 分類號: B01J19/12;B01J8/24;H05H1/46
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 陳國軍

1.一種大功率微波等離子體粉體處理器，包括矩形波導(1)，所述矩形波導(1)的一端依次連接有三銷釘調節器(2)、環形器(3)和微波源(4)，且矩形波導的另一端連接有微波諧振腔(5)，其特征在于：所述矩形波導上設置有穿過矩形波導到微波諧振腔的微波天線(6)，所述微波諧振腔包括圓柱腔體(501)，以及設置在圓柱腔體內的石英鐘罩(502)，所述石英鐘罩將圓柱腔體分隔成上腔體(502-1)和下腔體(502-2)，所述下腔體的下端連接有排氣腔(7)，且下腔體與排氣腔之間為密封連接，所述圓柱腔體的內徑從上到下逐漸增大，所述下腔體的內部設置有用于增添放置處理粉體的流化床杯(8)，所述流化床杯(8)的下端連通有穿過排氣腔的介質管(9)，該介質管與流化床杯的連接處設置有棉團(10)，所述流化床杯的上端設置有密封蓋(11)。

2.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述流化床杯(8)的材質為石英、陶瓷、耐熱玻璃其中任意一種。

3.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述流化床杯(8)為漏斗狀，其上端設置有豎直筒(24)，所述密封蓋(11)設置在豎直筒(24)的上端。

4.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述圓柱腔體(501)的內徑范圍為120mm-150mm。

5.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述排氣腔(7)的一端連接有真空規管(12)，且排氣腔的另一端依次連接有旋風分離器(13)、粉體過濾器(14)和真空泵(15)。

6.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述密封蓋(11)的材質為陶瓷，且密封蓋的外表面上開設有多個通孔。

7.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述介質管(9)的外壁設置有用于固定介質管的支撐管(16)。

8.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述下腔體(502-2)與排氣腔連接處設置有短路盤(17)，且該短路盤設置在介質管的外壁。

9.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述介質管(9)的下端連接有氣體鋼瓶(18)。

10.根據權利要求1所述的一種大功率微波等離子體粉體處理器，其特征在于：所述棉團(10)的材質為多孔陶瓷、石英其中任意一種。