[發(fā)明專利]光學(xué)鎖定器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010590033.1
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN111693155B
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: A·P·詹森
• 申請（專利權(quán)）人: 朗美通技術(shù)英國有限公司
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11283
• 代理人: 肖冰濱;王曉曉

1.一種用于光學(xué)鎖定器的干涉測量組件，所述干涉測量組件包括：

干涉儀，被配置成從輸入光束中產(chǎn)生干涉圖案，使得沿著第一路徑從檢測器組件觀察到的所述輸入光束的圖像至少在垂直于所述輸入光束的方向上與沿著第二路徑從所述檢測器組件觀察到的所述輸入光束的圖像移位，并且使得沿著所述第一路徑行進的光束與沿著所述第二路徑行進的光束干涉以產(chǎn)生所述干涉圖案；所述干涉儀包括由第一固體材料制成的第一部分和由與所述第一固體材料不同的第二固體材料制成的第二部分；并且，所述干涉儀包括分束器，所述分束器將所述輸入光束分成第一中間光束和第二中間光束，所述第一中間光束具有通過所述第一固體材料的路徑，所述第二中間光束具有通過所述第一固體材料和所述第二固體材料的路徑；以及

所述檢測器組件，被配置成檢測所述干涉圖案的多個區(qū)域的強度，所述多個區(qū)域包括歸一化區(qū)域和多個測量區(qū)域，并且所述檢測器組件被配置成確定多個輸出信號，每個輸出信號基于相應(yīng)的測量區(qū)域的強度和所述歸一化區(qū)域的強度而被確定，

其中所述每個輸出信號對于強度和波長之間的關(guān)系具有不同的相位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測量組件，其中所述每個輸出信號與所述相應(yīng)的測量區(qū)域的所述強度除以所述歸一化區(qū)域的所述強度成比例。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測量組件，其中所述干涉儀是Michelson干涉儀，以及

其中所述干涉測量組件進一步包括：

放置在所述輸入和所述干涉儀之間的歸一化單元，所述歸一化單元包括100％偏振分束器、位于從所述100％偏振分束器朝向所述干涉儀的方向上的四分之一波片、以及檢測器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的干涉測量組件，其中所述100％偏振分束器被設(shè)置成允許輸入光束穿過所述四分之一波片和所述干涉儀，并將來自所述干涉儀的返回光束反射到所述檢測器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的干涉測量組件，其中來自所述檢測器組件的輸出信號基于在所述檢測器處測量的所述強度而被歸一化。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測量組件，其中所述干涉儀是Michelson或Mach-Zehnder干涉儀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測量組件，其中所述干涉儀被配置成重新組合所述第一中間光束和所述第二中間光束以產(chǎn)生輸出光束。

8.一種測量測試光束的波長的方法，所述方法包括：

將所述測試光束提供給根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉測量組件；以及

基于選擇的輸出信號而確定所述測試光束的所述波長。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中所述選擇的輸出信號是所述多個輸出信號中在測量的強度下具有最大隨波長的變化率的輸出信號。