[發明專利]聚磺酰胺聚合物、含有聚磺酰胺聚合物的低溫交聯正型光敏性組合物及其應用

在審

• 申請號: 202010589491.3
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111548496A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 崔慶洲
• 申請（專利權）人: 崔國英
• 主分類號: C08G75/30
• 分類號: C08G75/30;H01L23/485;G03F7/039
• 代理公司: 北京從真律師事務所 11735
• 代理人: 程義貴

1.一種具有如下通式(1)聚磺酰胺聚合物，

其中：

m和n表示聚合物中的結構單元數，其為1～99的整數，m和n的關系滿足15％≤m/(m+n)≤85％；所述通式(1)中的X1是二價鏈狀連接基團；所述通式(1)中的Y是二價芳香族基團。

2.根據權利要求1所述的聚磺酰胺聚合物，所述通式(1)中的X1所示的二價鏈狀連接基團選自下述通式(2)所示的任一基團或者這些基團以任意比例的組合；

上述通式(2)中所述的h、j和k可以分別為1到40的任意數值；

所述通式(1)中的X2是二價芳香族連接基團，選自下述通式(3)、(4)或者(5)所示的任一基團或者這些結構在任意比例的組合；

其中所述的R₁，R₂，R₃，R₄分別表示氫原子或者一價有機基團；

其中所述的Q為直接鍵或二價有機基團，所述有機基團選自O、S、CO、SO₂、Si(CH₃)₂、CH(OH)、(CH₂)_x(1≤x≤10)、(CF₂)_y(1≤y≤10)、C(CH₃)₂、C(CF₃)₂、取代或未取代的-鄰，-間，-對亞苯基、苯醚基(C₆H₄-O-C₆H₄)_s(1≤s≤10)；

其中所述的T為直接鍵或二價有機基團，所述有機基團選自O、S、CO、SO₂、Si(CH₃)₂、CH(OH)、(CH₂)_x(1≤x≤10)、(CF₂)_y(1≤y≤10)、C(CH₃)₂、C(CF₃)₂、取代或未取代的-鄰，-間，-對亞苯基、苯醚基(C₆H₄-O-C₆H₄)_s(1≤s≤10),其中R₅～R₁₂是相同的或不同的一價有機基，選自H、CH₃、或CF₃；

所述通式(1)聚磺酰胺聚合物中的Y所示的二價芳香族基團選自下述式(6)或者(7)所代表的結構單元：

其中通式(6)中所述的U為直接鍵或二價有機基團，所述的有機基團選自O、S、CO、SO₂、Si(CH₃)₂、CH(OH)、(CH₂)_x(1≤x≤10)、(CF₂)_y(1≤y≤10)、C(CH₃)₂、C(CF₃)₂、取代或未取代的-鄰、-間、-對亞苯基。

3.根據權利要求1所述的聚磺酰胺聚合物，其重均分子量范圍為5,000到200,000。

4.一種含有權利要求1-3中任一權利要求所述的聚磺酰胺聚合物的正型光敏性組合物，其包括：

(A)聚酰胺磺酰胺聚合物；

(B)光酸產生劑：其在組合物中的含量相對于(A)成分100質量份而言優選為5～40質量份，更優選為8～30質量份；

(C)交聯劑：其在組合物中的含量相對于(A)成分100質量份而言優選為3～50質量份，進一步優選為5～40質量份；以及

(D)溶劑：其在組合物中的含量相對于(A)成分100質量份優選為50～600質量份，更優選為60～500質量份，進一步優選為80～300質量份。