[發(fā)明專利]半導體設備控制系統(tǒng)和系統(tǒng)監(jiān)控方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010589086.1 | 申請日： | 2020-06-24 |
| 公開（公告）號： | CN111781913B | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 杜青 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G05B23/02 | 分類號： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京國昊天誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315 | 代理人： | 李瀟 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導體設備 控制系統(tǒng) 系統(tǒng) 監(jiān)控 方法 | ||
1.一種半導體設備控制系統(tǒng)，包括：上位機單元、下位機單元、硬件控制單元，其特征在于，
所述上位機單元，用于按照第一時間周期通過在所述下位機單元預先建立的第一測試通道定時發(fā)送下位機測試數(shù)據(jù)到所述下位機單元；根據(jù)所述下位機測試數(shù)據(jù)是否發(fā)送成功，確定所述下位機單元的工作狀態(tài)；其中，相鄰的所述第一時間周期發(fā)送的所述下位機測試數(shù)據(jù)的數(shù)值不同；
所述下位機單元，用于按照第二時間周期定時判斷下位機測試狀態(tài)值是否發(fā)生變化，根據(jù)判斷結(jié)果確定所述上位機單元的工作狀態(tài)；所述下位機測試狀態(tài)值，是將通過所述第一測試通道最近一次獲取的下位機測試數(shù)據(jù)進行賦值得到的；
所述下位機單元，還用于按照第三時間周期通過在所述硬件控制單元預先建立的第二測試通道定時發(fā)送硬件控制測試數(shù)據(jù)到所述硬件控制單元；根據(jù)所述硬件控制測試數(shù)據(jù)是否發(fā)送成功，確定所述硬件控制單元的工作狀態(tài)；相鄰的所述第三時間周期發(fā)送的所述硬件控制測試數(shù)據(jù)的數(shù)值不同；
所述硬件控制單元，用于按照第四時間周期定時判斷硬件控制測試狀態(tài)值是否發(fā)生變化，根據(jù)判斷結(jié)果確定所述下位機單元的工作狀態(tài)；所述硬件控制測試狀態(tài)值，是將通過所述第二測試通道最近一次獲取的硬件控制測試數(shù)據(jù)進行賦值得到的。
2.一種系統(tǒng)監(jiān)控方法，應用于如權(quán)利要求1所述的半導體設備控制系統(tǒng)中的所述上位機單元，其特征在于，包括：
按照第一時間周期通過在所述下位機單元預先建立的第一測試通道定時發(fā)送下位機測試數(shù)據(jù)到所述下位機單元；其中，相鄰的所述第一時間周期發(fā)送的所述下位機測試數(shù)據(jù)的數(shù)值不同；
根據(jù)所述下位機測試數(shù)據(jù)是否發(fā)送成功，確定所述下位機單元的工作狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)監(jiān)控方法，其特征在于，所述根據(jù)所述下位機測試數(shù)據(jù)是否發(fā)送成功，確定所述下位機單元的工作狀態(tài)，包括：
若所述下位機測試數(shù)據(jù)發(fā)送失敗的連續(xù)次數(shù)超過第一次數(shù)閾值，則確定所述下位機單元的工作狀態(tài)為離線。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)監(jiān)控方法，其特征在于，還包括：
若所述下位機測試數(shù)據(jù)發(fā)生失敗的連續(xù)次數(shù)僅為一次，則生成下位機低級警告信息；
若所述下位機測試數(shù)據(jù)發(fā)生失敗的連續(xù)次數(shù)超過第一次數(shù)閾值，則生成下位機高級警告信息。
5.一種系統(tǒng)監(jiān)控方法，應用于如權(quán)利要求1所述的半導體設備控制系統(tǒng)中的所述下位機單元，其特征在于，包括：
按照第二時間周期定時判斷下位機測試狀態(tài)值是否發(fā)生變化；所述下位機測試狀態(tài)值，是將通過預先建立的第一測試通道最近一次獲取的下位機測試數(shù)據(jù)進行賦值得到的；
根據(jù)判斷結(jié)果確定所述上位機單元的工作狀態(tài)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)監(jiān)控方法，其特征在于，所述按照第二時間周期定時判斷下位機測試狀態(tài)值是否發(fā)生變化，包括：
按照第二時間周期，定時比較所述下位機測試狀態(tài)值與下位機測試舊值；所述下位機測試舊值，是將通過所述第一測試通道上一次獲取的下位機測試數(shù)據(jù)進行賦值得到的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)監(jiān)控方法，其特征在于，所述根據(jù)判斷結(jié)果確定所述上位機單元的工作狀態(tài),包括：
若所述下位機測試狀態(tài)值等于所述下位機測試舊值，則確定所述上位機單元的工作狀態(tài)為離線；
若所述下位機測試狀態(tài)值不等于所述下位機測試舊值，則確定所述上位機單元的工作狀態(tài)為在線。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)監(jiān)控方法，其特征在于，還包括：
按照第三時間周期通過在所述硬件控制單元預先建立的第二測試通道定時發(fā)送硬件控制測試數(shù)據(jù)到所述硬件控制單元；相鄰的所述第三時間周期發(fā)送的所述硬件控制測試數(shù)據(jù)的數(shù)值不同；
根據(jù)所述硬件控制測試數(shù)據(jù)是否發(fā)送成功，確定所述硬件控制單元的工作狀態(tài)。
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