[發明專利]具有浮置鉑構件的鉑電阻溫度傳感器

有效

• 申請號: 202010587810.7
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN112146775B
• 公開（公告）日: 2022-12-13
• 發明（設計）人: T.B.布朗;R.丁;D.D.利奇;D.W.法利
• 申請（專利權）人: 弗蘭克公司
• 主分類號: G01K7/18
• 分類號: G01K7/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李晨;王麗輝

1.一種溫度傳感器，包括：

第一基板，所述第一基板具有上表面、升高到所述上表面上方的第一支撐表面和升高到所述上表面上方的第二支撐表面，所述第一支撐表面與所述第二支撐表面間隔開；

第一鉑構件，所述第一鉑構件包括位于所述第一支撐表面上的第一基座部分并且包括從所述第一基座部分朝向所述第二支撐表面延伸的第一叉臂和第二叉臂，所述第一叉臂和所述第二叉臂懸置在所述第一基板的所述上表面上方；和

第一柱，所述第一柱從所述第一支撐表面延伸并且限制所述第一基座部分相對于所述第一支撐表面的移動。

2.根據權利要求1所述的溫度傳感器，還包括：

第二基板，所述第二基板位于所述第一鉑構件上方并且將所述第一鉑構件包封在所述溫度傳感器內，所述第二基板具有與所述第一基板的所述上表面相對的第一下表面，所述第一下表面與所述第一基座部分的上表面相鄰并且將所述第一基座部分保持到所述第一支撐表面。

3.根據權利要求2所述的溫度傳感器，其中所述第一叉臂和所述第二叉臂具有端部，所述端部與所述第二支撐表面接觸并且由所述第二支撐表面支撐，所述第二基板具有第二下表面，所述第二下表面與所述第二支撐表面相對并且與所述第一叉臂和所述第二叉臂的所述端部的上表面相鄰。

4.根據權利要求1所述的溫度傳感器，其中所述第一叉臂和所述第二叉臂與所述第二支撐表面接觸并且由所述第二支撐表面支撐。

5.根據權利要求1所述的溫度傳感器，其中所述第一基座部分具有接收所述第一柱的腔體，所述腔體具有其中側壁與所述第一柱的周邊間隔開的橫截面大小和形狀。

6.根據權利要求1所述的溫度傳感器，還包括：

第二柱，所述第二柱從所述第一支撐表面延伸，其中所述第一柱被定位成與所述第一基座部分的第一側相鄰，并且所述第二柱被定位成與所述第一基座部分的第二側相鄰，所述第二側與所述第一側相對。

7.根據權利要求6所述的溫度傳感器，其中所述第一鉑構件還包括位于所述第二支撐表面上的第二基座部分，

所述溫度傳感器還包括從所述第二支撐表面延伸的第三柱和第四柱，其中所述第三柱被定位成與所述第二基座部分的第一側相鄰，并且所述第四柱被定位成與所述第二基座部分的第二側相鄰，所述第二側與所述第一側相對，從而限制所述第二基座部分相對于所述第二支撐表面的移動。

8.根據權利要求1所述的溫度傳感器，其中所述第一叉臂和所述第二叉臂從所述第一基座部分平行地延伸并且在所述第一鉑構件的寬度方向上彼此間隔開。

9.根據權利要求1所述的溫度傳感器，其中所述第一鉑構件具有減輕所述第一叉臂和所述第二叉臂的局部應力集中的幾何形狀，所述幾何形狀包括相對于所述第一叉臂或所述第二叉臂的厚度或寬度不同的所述第一基座部分的厚度或寬度。

10.根據權利要求1所述的溫度傳感器，其中所述第一基座部分具有限制所述第一叉臂或所述第二叉臂的彎矩的幾何形狀，所述幾何形狀包括大于所述第一叉臂或所述第二叉臂的厚度或寬度的所述第一基座部分的厚度或寬度。

11.根據權利要求1所述的溫度傳感器，還包括：

第一平臺，所述第一平臺從所述第一基板的所述上表面向上延伸并且限定所述第一支撐表面。

12.根據權利要求11所述的溫度傳感器，還包括：

第二平臺，所述第二平臺從所述第一基板的所述上表面向上延伸并且限定所述第二支撐表面，其中所述第一平臺和所述第二平臺以小于所述第一叉臂的長度或所述第二叉臂的長度的距離彼此間隔開。