[發明專利]用于制備和遞送用于帶電粒子分析的生物樣品的系統和方法

在審

• 申請號: 202010586903.8
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN112146967A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: M·斯特勞;A·馬卡羅夫;J·吉爾伯特;A·托羅克;J·克里斯蒂安;A·巴姆;劉坤;T·尼科爾斯;J·科斯莫斯基;D·格林菲爾德
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N1/34
• 分類號: G01N1/34;G01N1/28;G01N27/62;G01N35/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;申屠偉進

1.一種用于全息成像的系統，所述系統包括：

離子過濾器，相偶聯的所述離子過濾器可以從經過電離儲備樣品中選擇樣品離子，所述離子過濾器包含用于從所述儲備樣品中選擇所述樣品離子的四極桿過濾器；

減能池，相偶聯的所述減能池可以接收所選樣品離子并且降低所述樣品離子的動能；

襯底，相偶聯的所述襯底可以接收所述樣品，其中所述襯底為電子透過性的；

離子運送模塊，相偶聯的所述離子運送模塊可以從所述減能池接收所述樣品離子并且將所述樣品離子向下游運送到所述襯底；以及

成像系統，所述成像系統以低能量相干電子束對位于所述襯底上的樣品進行成像，其中所述襯底布置在分析位置中，所述成像系統包含：

發射器，相偶聯的所述發射器可以朝向所述樣品引導所述低能量相干電子束；以及

檢測器，所述檢測器可以檢測由所述低能量相干電子束的電子與所述樣品的相互作用形成的干涉圖。

2.根據權利要求1所述的系統，其進一步包含：

襯底固持器，所述襯底固持器可以固持所述襯底，所述襯底固持器包含用于將所述襯底固持器從沉積位置移動到分析位置的電機。

3.根據權利要求2所述的系統，其進一步包括：

軌道，所述軌道從沉積位置延伸到所述分析位置，其中所述襯底固持器安裝在所述軌道上，以在所述沉積位置與所述分析位置之間平移。

4.根據權利要求2所述的系統，其中所述襯底固持器包含用于加熱所述襯底的加熱器。

5.根據權利要求1所述的系統，其進一步包含光能源，相偶聯的所述光能源可以向所述襯底提供光能。

6.根據權利要求1所述的系統，其中所述離子運送模塊包含多個差動泵浦級，并且其中所述離子運送模塊在第一真空水平下接收所述樣品離子并且在第二真空水平下提供所述樣品離子，所述第二真空水平高于所述第一真空水平，其中所述多個差動泵浦級中的每個差動泵浦級分別將所述真空水平從所述第一真空水平增加到所述第二真空水平。

7.根據權利要求5所述的系統，其中所述多個差動泵浦級中的最終差動泵浦級包含安置在輸出上的減速透鏡，相偶聯的所述減速透鏡在向所述襯底提供所述樣品離子之前可降低所述樣品離子的所述動能。

8.根據權利要求6所述的系統，其中所述減速透鏡包含第一透鏡元件和第二透鏡元件，所述第一透鏡元件與所述第二透鏡元件相對偏置以聚焦所述樣品離子。

9.根據權利要求1所述的系統，其中所述襯底由石墨烯、六方氮化硼、二硒化鉬和二硫化鉿之一或其它二維材料形成。

10.根據權利要求8所述的系統，其中所述石墨烯為單層或雙層石墨烯片。

11.根據權利要求1所述的系統，其進一步包含電離器，相偶聯的所述電離器可以接收儲備樣品，對所述儲備樣品進行電離并且將所述經過電離的儲備樣品提供到所述離子過濾器。

12.根據權利要求1所述的系統，其中至少所述離子過濾器、減能池和驗證單元是包含在質譜儀中的。

13.根據權利要求1所述的系統，其進一步包含閘閥，所述閘閥用于偶聯所述成像系統并且使所述成像系統與所述離子運送模塊的至少一部分解偶聯。

14.根據權利要求1所述的系統，其中所述成像系統是直接電子全息成像系統。

15.根據權利要求1所述的系統，其進一步包括阻尼支撐件，其中至少所述成像系統是安裝在所述阻尼支撐件上的。