[發(fā)明專利]晶圓貼膜機(jī)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010586737.1
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111739821A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程彥;張成宣;胡麗蘭
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞思沃智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 李金偉

1.晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，包括工作臺、安裝于所述工作臺的貼膜臺、滑動(dòng)安裝于所述工作臺的壓膜裝置、用于驅(qū)動(dòng)所述壓膜裝置滑動(dòng)的壓膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)安裝于所述工作臺且與所述壓膜裝置相對設(shè)置的剝膜裝置、用于驅(qū)動(dòng)所述剝膜裝置滑動(dòng)的剝膜滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、位于所述壓膜裝置遠(yuǎn)離所述剝膜裝置的一側(cè)的放膜裝置、位于所述剝膜裝置遠(yuǎn)離所述壓膜裝置的一側(cè)的收卷膜裝置、用于向所述貼膜臺輸送晶圓的送料裝置，以及用于對晶圓的邊緣的膜進(jìn)行切割的切膜裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述貼膜臺包括固定安裝于所述工作臺的貼膜固定機(jī)構(gòu)、滑動(dòng)安裝于所述貼膜固定機(jī)構(gòu)的貼膜升降機(jī)構(gòu)，以及安裝于所述貼膜固定機(jī)構(gòu)與所述貼膜升降機(jī)構(gòu)之間的且用于驅(qū)動(dòng)所述貼膜升降機(jī)構(gòu)相對所述貼膜固定機(jī)構(gòu)滑動(dòng)的第一貼膜升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述貼膜固定機(jī)構(gòu)包括貼膜固定架，以及安裝于所述貼膜固定架的貼膜固定臺；所述貼膜固定臺上開設(shè)有供所述貼膜升降機(jī)構(gòu)通過的第一貼膜讓位孔；所述貼膜升降機(jī)構(gòu)包括與所述第一貼膜升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端相連的貼膜升降架，以及安裝于所述貼膜升降架且位于所述第一貼膜讓位孔內(nèi)的貼膜盤。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述貼膜升降架包括與所述貼膜盤相連的兩塊貼膜升降立板，以及連接于兩塊所述貼膜升降立板之間的貼膜升降底板；兩塊所述貼膜升降立板相對且間隔設(shè)置；所述貼膜盤開設(shè)有第二貼膜讓位孔，所述第二貼膜讓位孔內(nèi)設(shè)有用于接收所述送料裝置輸送的晶圓的貼膜升降桿；所述貼膜升降桿與所述貼膜升降底板之間設(shè)有第二貼膜升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述切膜裝置包括切割升降模組、安裝于所述切割升降模組的輸出端的切割升降座、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述切割升降座的電滑環(huán)、用于驅(qū)動(dòng)所述電滑環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)的切割轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、安裝于所述電滑環(huán)的切割連接座，以及安裝于所述切割連接座的切割模組。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述切割模組包括安裝于所述切割連接座且與所述電滑環(huán)電連接的切割調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，以及安裝于所述切割調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的輸出端的切刀結(jié)構(gòu)；所述切割調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括活動(dòng)安裝于所述切割連接座的切割調(diào)節(jié)支撐桿，以及與所述切割連接座螺紋連接的切割調(diào)節(jié)旋鈕；所述切割連接座開設(shè)有調(diào)節(jié)安裝孔，所述切割調(diào)節(jié)支撐桿活動(dòng)安裝于所述調(diào)節(jié)安裝孔內(nèi)，所述切割調(diào)節(jié)支撐桿上開設(shè)有多個(gè)調(diào)節(jié)定位孔，多個(gè)所述調(diào)節(jié)定位孔沿所述切割調(diào)節(jié)支撐桿的長度方向依次設(shè)置，所述調(diào)節(jié)安裝孔的內(nèi)壁開設(shè)有對應(yīng)于所述調(diào)節(jié)定位孔的調(diào)節(jié)定位螺紋通孔；所述切割調(diào)節(jié)旋鈕與所述調(diào)節(jié)定位螺紋通孔螺紋連接并插入其中一個(gè)所述調(diào)節(jié)定位孔內(nèi)；所述切刀結(jié)構(gòu)安裝于所述切割調(diào)節(jié)支撐桿上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述切割調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括安裝于所述切割調(diào)節(jié)支撐桿的切割方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；所述切割方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括固定安裝于所述切割調(diào)節(jié)支撐桿的切割方向調(diào)節(jié)座、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述切割方向調(diào)節(jié)座的切割方向調(diào)節(jié)支架、安裝于所述切割方向調(diào)節(jié)座且用于驅(qū)動(dòng)所述切割方向調(diào)節(jié)支架轉(zhuǎn)動(dòng)的切割方向調(diào)節(jié)氣缸，以及連接于所述切割方向調(diào)節(jié)氣缸的活塞桿與所述切割方向調(diào)節(jié)支架之間的切割方向調(diào)節(jié)連桿；所述切刀結(jié)構(gòu)安裝于所述切割方向調(diào)節(jié)支架上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述剝膜裝置包括滑動(dòng)安裝于所述工作臺的剝膜支架、轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述剝膜支架的剝膜輥、安裝于所述剝膜支架的剝膜氣缸，以及安裝于所述剝膜氣缸的活塞桿且與所述剝膜輥相配合的夾緊件；所述夾緊件包括安裝于所述剝膜氣缸的活塞桿的剝膜連接板，以及安裝于所述剝膜連接板的兩個(gè)夾緊輥；所述剝膜連接板與所述剝膜輥相互平行，所述夾緊輥與所述剝膜輥相互平行；兩個(gè)所述夾緊輥分別位于所述剝膜連接板的相對的兩端。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜機(jī)，其特征在于，所述壓膜裝置包括滑動(dòng)安裝于所述工作臺的壓膜支架、滑動(dòng)安裝于所述壓膜支架的壓膜升降架、用于驅(qū)動(dòng)所述壓膜升降架滑動(dòng)的壓膜升降氣缸，以及轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述壓膜升降架的壓膜壓輥；所述壓膜升降架與所述壓膜支架之間設(shè)有壓膜壓力傳感器。