[發(fā)明專利]光罩及電子裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010586244.8
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN113835545A
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周玫伶;陳智偉;劉家宇;陳銘良;莊堯智
• 申請（專利權(quán)）人: 瀚宇彩晶股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 侯奇慧

本發(fā)明公開了一種光罩及一種電子裝置，其中光罩包括一基底及一網(wǎng)格圖案，網(wǎng)格圖案設(shè)置在基底上，網(wǎng)格圖案包括第一條狀圖案和第二條狀圖案，第一條狀圖案包括第一線段、第二線段和第三線段，且第二線段設(shè)置在第一線段和第三線段之間，第二條狀圖案包括第四線段、第五線段和第六線段，且第五線段設(shè)置在第四線段和第六線段之間，以及第一線段具有第一延伸方向，第四線段具有第二延伸方向，第一延伸方向和第二延伸方向之間具有第一夾角，第五線段和第二線段交錯，第五線段和第二線段之間具有第二夾角，且第二夾角的角度大于第一夾角的角度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種光罩及電子裝置，特別是涉及一種具有金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的電子裝置以及用于形成金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的光罩。

背景技術(shù)

電子裝置(如觸控面板)已廣泛使用在各式電子產(chǎn)品中，以使用戶可直接與電子產(chǎn)品溝通而取代鍵盤與鼠標(biāo)等傳統(tǒng)輸入設(shè)備，以縮減電子產(chǎn)品的體積并提升人機(jī)在溝通上的便利性。在電子裝置中，電極可通過金屬材料的網(wǎng)格結(jié)構(gòu)所構(gòu)成，如觸控面板的觸控電極。然而，由于金屬材料本身的特性，因此若以金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)制作觸控電極時，會使得觸控電極具有較高的反射率進(jìn)而造成觸控面板視效上的問題。

圖1為制作金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的光罩中的一局部區(qū)域的放大示意圖。如圖1所示，光罩30的網(wǎng)格圖案包括一第一條狀圖案308和一第二條狀圖案310，且第一條狀圖案308可和第二條狀圖案310交錯。第一條狀圖案308和第二條狀圖案310之間具有一夾角θ，且夾角θ小于90度。圖2為通過圖1的光罩所制作出的金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的局部放大示意圖。值得說明的是，圖2中的亮色部分為金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，且圖1與圖2是以夾角θ的角度等于60度為例示。因?yàn)樵趯庾柽M(jìn)行曝光時，鄰近于第一條狀圖案308與第二條狀圖案310交錯處的節(jié)點(diǎn)320的位置會產(chǎn)生繞射現(xiàn)象，因此如圖2所示，制作出的兩個金屬線段交錯處的節(jié)點(diǎn)會具有較大的面積。由于上述的節(jié)點(diǎn)是金屬材料并可反射光線，具有較大的面積的節(jié)點(diǎn)可能造成產(chǎn)品的視效上的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是電子裝置中的電極(如觸控面板的觸控電極)具有金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)時，會使得電極具有較高的反射率進(jìn)而造成視效上的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種光罩，其包括一基底以及一網(wǎng)格圖案，網(wǎng)格圖案設(shè)置在基底上。網(wǎng)格圖案包括一第一條狀圖案和一第二條狀圖案，且第一條狀圖案和第二條狀圖案交錯。第一條狀圖案包括一第一線段、一第二線段和一第三線段，且第二線段設(shè)置在第一線段和第三線段之間。第二條狀圖案包括一第四線段、一第五線段和一第六線段，且第五線段設(shè)置在第四線段和第六線段之間。第一線段具有一第一延伸方向，第四線段具有一第二延伸方向，第一延伸方向和第二延伸方向之間具有一第一夾角，第五線段和第二線段交錯，第五線段和第二線段之間具有一第二夾角，且第二夾角的角度大于第一夾角的角度。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種電子裝置，其包括一基底以及一金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)，金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)設(shè)置在基底上。金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)包括一節(jié)點(diǎn)、多個內(nèi)側(cè)金屬線段以及多個外側(cè)金屬線段。內(nèi)側(cè)金屬線段和節(jié)點(diǎn)連接。外側(cè)金屬線段和內(nèi)側(cè)金屬線段連接，且內(nèi)側(cè)金屬線段設(shè)置在外側(cè)金屬線段和節(jié)點(diǎn)之間。外側(cè)金屬線段包括一第一外側(cè)金屬線段和相鄰于第一外側(cè)金屬線段的一第二外側(cè)金屬線段。第一外側(cè)金屬線段具有一第一延伸方向，第二外側(cè)金屬線段具有一第二延伸方向，第一延伸方向和第二延伸方向之間具有一第一夾角。內(nèi)側(cè)金屬線段包括一第一內(nèi)側(cè)金屬線段和相鄰于第一內(nèi)側(cè)金屬線段的一第二內(nèi)側(cè)金屬線段，第一內(nèi)側(cè)金屬線段具有一第三延伸方向，第二內(nèi)側(cè)金屬線段具有一第四延伸方向，第三延伸方向和第四延伸方向之間具有一第二夾角，且第二夾角大于第一夾角。

在本發(fā)明的光罩中，第五線段和第二線段之間的第二夾角是90度；在本發(fā)明的電子裝置中，第一內(nèi)側(cè)金屬線段的第三延伸方向和第二內(nèi)側(cè)金屬線段的第四延伸方向之間的第二夾角是90度。上述設(shè)計(jì)可在制程中減少鄰近于第五線段和第二線段交錯處的位置在顯影之后所殘留的光刻膠的面積，并可縮減所制作出的金屬節(jié)點(diǎn)的面積。因此，可降低金屬節(jié)點(diǎn)所造成的產(chǎn)品的視效上的問題。

附圖說明

圖1為制作金屬網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的光罩中的一局部區(qū)域的放大示意圖。