[發明專利]一種基于交貨日期的流水作業生產線作業量預測方法

在審

• 申請號: 202010584743.3
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111784035A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 錢春霞;周菁;陳廣;徐秋晨;劉帆;陸曉琴
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/04
• 分類號: G06Q10/04;G06Q10/10;G06Q50/04
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本發明提供一種基于交貨日期的流水作業生產線作業量預測方法，形成在制品列表信息集合；形成虛擬工件列表信息集合；根據歷史工件信息計算生產周期表；將在制品列表信息、虛擬工件列表信息為元素的集合整合，獲得模擬工件列表信息集合；獲取每個模擬工件的完整工藝流程；根據到達當前站點時間及作業時間、等待時間、停滯時間計算預計出貨時間，根據預計出貨時間計算系數。根據系數計算各步驟的預計到達時間、預計開始時間及預計結束時間；獲得每個模擬工件預測信息的預測集合。本發明利用系數值對生產周期進行修正，快速實現整個生產線未來的作業量預測，并對數據分析，結合實際生產線的狀況，達到生產調控、產能預警、作業調度等調控目的。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，特別是涉及一種基于交貨日期的流水作業生產線作業量預測方法。

背景技術

流水作業(flow-shop)生產線通常是根據產品預先設定作業流程(productflow)，作業流程由多個按順序排列的工序(step)組成，工件進入生產線后，按照定好的產品作業流程逐個步驟進行加工，直至完成所有工序的加工。

作業量(move)的預測是生產控制的重要手段之一。常規技術是以歷史周轉率(TR，turn ratio)或DPML(day per mask layer)為參考的預測方法。TR和DPML均是表現產品移動速率的指標，TR通常是指工件(lot)1天內完成的move數，DPML是指完成一道光刻工藝層需要的天數，其中每道光刻工藝層包含若干個step。

以TR為例，現有兩個產品prod1和prod2，分別有20個step，TR分別為4和3，如表一：

產品名稱	step數	工件名稱	TR
prod1	20	lot1	4
prod2	20	lot2	3

假設工件從第一天開始投入加工，按照日期進行統計，將得到以下作業量預測結果如表二：

如圖1所示，圖1顯示為現有技術中作業量與作業量預測的關系圖，其中橫軸表示作業量預測，縱軸表示作業量；由此可見，該方法存在很大的弊端：一、作業量完全呈線性分布，未考慮實際不同工藝步驟(step)的作業時間的巨大差異；二、粒度不夠細致，沒有對工件運行矩陣運算的詳細信息，無法對不同維度進行分類統計；三、適合粗略估算的場景，達不到生產調控和產能預警的使用要求。

發明內容