[發(fā)明專利]一種背板系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010580560.4
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111785734A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設計）人: 胡清洋
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥領盛電子有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L27/32
• 代理公司: 合肥律眾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34147
• 代理人: 鄧盛花

本發(fā)明公開了一種背板系統(tǒng)，包括TFT背板，TFT背板包括基板，基板上沉積有緩沖層，緩沖層上沉積第一遮光層和第二遮光層，第一遮光層和第二遮光層上沉積有絕緣層，絕緣層上沉積有兩相間設置的第一有源層和第二有源層，第一有源層上形成第一源極和第一漏極，第二有源層上分別形成第二源極和第二漏極，第一有源層和第二有源層上沉積有柵極絕緣層，柵極絕緣層在第一有源層上位置設置有凹陷部，柵極絕緣層上形成有第一柵極和第二柵極，第一柵極置于第一源極和第一漏極之間，第二柵極置于第二源極和第二漏極之間；本發(fā)明的背板系統(tǒng)，具有良好的防水氣能力，用以改善薄膜晶體管質(zhì)量。

技術領域

本發(fā)明屬于顯示領域，更具體的說涉及一種背板系統(tǒng)。

背景技術

平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機身薄及應用范圍廣等優(yōu)點，而被廣泛的應用于手機、電視、個人數(shù)字助理、數(shù)字相機、筆記本電腦、臺式計算機等各種消費性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

現(xiàn)有的平面顯示裝置主要包括液晶顯示器件(LiquidCrystalDisplay，LCD)和有機發(fā)光二極管顯示器件(OrganicLightEmittingDisplay，OLED)。有機發(fā)光二極管顯示器件(OLED)由于同時具備自發(fā)光，不需背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣、構(gòu)造較簡單等優(yōu)異特性，正被大力推廣。

在有機發(fā)光二極管顯示器件(OLED)中，薄膜晶體管(TFT)驅(qū)動有機發(fā)光二極管發(fā)光，進而顯示相應的畫面。可見，薄膜晶體管(TFT)是有機發(fā)光二極管顯示器件(OLED)中的關鍵部件，薄膜晶體管(TFT)直接決定有機發(fā)光二極管顯示器件(OLED)的質(zhì)量。

現(xiàn)有技術中，薄膜晶體管(TFT)在使用中會出現(xiàn)水汽等問題，嚴重影響有機發(fā)光二極管顯示器件質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種背板系統(tǒng)，提供一種具有防水氣的TFT背板系統(tǒng)，用以改善薄膜晶體管質(zhì)量。

本發(fā)明技術方案一種背板系統(tǒng)，包括TFT背板，所述TFT背板包括基板，所述基板上沉積有緩沖層，所述緩沖層上沉積第一遮光層和第二遮光層，所述第一遮光層和第二遮光層上沉積有絕緣層，所述絕緣層上沉積有兩相間設置的第一有源層和第二有源層，所述第一有源層包括中間的第一導電溝和設置在第一導電溝兩端的第一導電部，兩所述第一導電部上分別形成第一源極和第一漏極，所述第二有源層包括中間的第二導電溝和設置在第二導電溝兩端的第二導電部，兩所述第二導電部上分別形成第二源極和第二漏極，所述第一有源層和第二有源層上沉積有柵極絕緣層，所述柵極絕緣層在第一有源層上位置設置有凹陷部，所述柵極絕緣層上形成有第一柵極和第二柵極，所述第一柵極置于第一源極和第一漏極之間，所述第二柵極置于第二源極和第二漏極之間，所述柵極絕緣層上沉積有絕緣層，所述絕緣層上沉積有鈍化層。

優(yōu)選地，所述基板為玻璃基板，在玻璃基板上涂覆有黃色的聚酰亞胺薄膜，所述緩沖層沉積在黃色的聚酰亞胺薄膜上。

優(yōu)選地，所述緩沖層包括依次沉積的氮化硅薄膜、氧化硅薄膜和氧化鋁薄膜，所述氮化硅薄膜和氧化硅薄膜厚度為所述氧化鋁薄膜厚度為

優(yōu)選地，所述第一有源層和第二有源層分別設于所述第一遮光層和第二遮光層上方。

優(yōu)選地，所述鈍化層采用氧化硅或氮化硅材料，厚度為在鈍化層上設置有兩過孔，所述第一漏極和第二漏極分別由兩過孔位置暴露出來。

本發(fā)明技術方案的一種背板系統(tǒng)的有益效果是：通過增加緩沖層，使得TFT背板具有良好的防水汽能力。

附圖說明

圖1為本發(fā)明技術方案的一種背板系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式