[發(fā)明專(zhuān)利]慣性傳感器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010579928.5
• 申請(qǐng)日: 2020-06-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112147370B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-10-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 田中悟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01P15/18
• 分類(lèi)號(hào): G01P15/18;G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種慣性傳感器，其特征在于，

在將互相正交的三個(gè)軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸時(shí)，所述慣性傳感器具有：

基板；

可動(dòng)體，繞沿著所述Y軸的擺動(dòng)軸擺動(dòng)；以及

電極，配置于所述基板，并且在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極與所述可動(dòng)體重疊，

在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述可動(dòng)體具有隔著所述擺動(dòng)軸設(shè)置的第一可動(dòng)部以及第二可動(dòng)部，

在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述第一可動(dòng)部具有：

對(duì)稱(chēng)部，相對(duì)于所述擺動(dòng)軸與所述第二可動(dòng)部對(duì)稱(chēng)設(shè)置；以及

非對(duì)稱(chēng)部，位于比所述對(duì)稱(chēng)部距離所述擺動(dòng)軸更遠(yuǎn)的一側(cè)，并且與所述第二可動(dòng)部非對(duì)稱(chēng)，

所述第一可動(dòng)部繞所述擺動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)力矩大于所述第二可動(dòng)部繞所述擺動(dòng)軸的旋轉(zhuǎn)力矩，

在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：

第一檢測(cè)電極，與所述第一可動(dòng)部的所述對(duì)稱(chēng)部重疊設(shè)置；以及

第一虛擬電極，在比所述第一檢測(cè)電極距離所述擺動(dòng)軸更遠(yuǎn)的一側(cè)與所述第一可動(dòng)部的所述對(duì)稱(chēng)部以及所述非對(duì)稱(chēng)部重疊設(shè)置，并且所述第一虛擬電極與所述可動(dòng)體為相同電位，

所述對(duì)稱(chēng)部與所述第一虛擬電極的分開(kāi)距離大于所述對(duì)稱(chēng)部與所述第一檢測(cè)電極的分開(kāi)距離，

在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：

第二檢測(cè)電極，與所述第二可動(dòng)部重疊設(shè)置；以及

第二虛擬電極，在比所述第二檢測(cè)電極距離所述擺動(dòng)軸更遠(yuǎn)的一側(cè)與所述第二可動(dòng)部重疊設(shè)置，所述第二虛擬電極與所述可動(dòng)體為相同電位，

所述第二可動(dòng)部與所述第二虛擬電極的分開(kāi)距離大于所述第二可動(dòng)部與所述第二檢測(cè)電極的分開(kāi)距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述非對(duì)稱(chēng)部與所述第一虛擬電極的分開(kāi)距離大于所述對(duì)稱(chēng)部與所述第一檢測(cè)電極的分開(kāi)距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有第三虛擬電極，所述第三虛擬電極位于所述第一檢測(cè)電極與所述第二檢測(cè)電極之間并與所述可動(dòng)體重疊設(shè)置，

所述可動(dòng)體與所述第三虛擬電極的分開(kāi)距離大于所述第一可動(dòng)部與所述第一檢測(cè)電極的分開(kāi)距離以及所述第二可動(dòng)部與所述第二檢測(cè)電極的分開(kāi)距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的慣性傳感器，其特征在于，

在所述第一可動(dòng)部以及所述第二可動(dòng)部分別設(shè)置有在所述Z軸方向上貫通所述可動(dòng)體的貫通孔。

5.一種電子設(shè)備，其特征在于，具有：

權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的慣性傳感器；以及

控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)來(lái)進(jìn)行控制。

6.一種移動(dòng)體，其特征在于，具有：

權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的慣性傳感器；以及

控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測(cè)信號(hào)來(lái)進(jìn)行控制。