[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體有效
| 申請號： | 202010579928.5 | 申請日： | 2020-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN112147370B | 公開（公告）日： | 2022-10-25 |
| 發明（設計）人： | 田中悟 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/18 | 分類號： | G01P15/18;G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 慣性 傳感器 電子設備 以及 移動 | ||
1.一種慣性傳感器，其特征在于，
在將互相正交的三個軸設為X軸、Y軸以及Z軸時，所述慣性傳感器具有：
基板；
可動體，繞沿著所述Y軸的擺動軸擺動；以及
電極，配置于所述基板，并且在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極與所述可動體重疊，
在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述可動體具有隔著所述擺動軸設置的第一可動部以及第二可動部，
在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述第一可動部具有：
對稱部，相對于所述擺動軸與所述第二可動部對稱設置；以及
非對稱部，位于比所述對稱部距離所述擺動軸更遠的一側，并且與所述第二可動部非對稱，
所述第一可動部繞所述擺動軸的旋轉力矩大于所述第二可動部繞所述擺動軸的旋轉力矩，
在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：
第一檢測電極，與所述第一可動部的所述對稱部重疊設置；以及
第一虛擬電極，在比所述第一檢測電極距離所述擺動軸更遠的一側與所述第一可動部的所述對稱部以及所述非對稱部重疊設置，并且所述第一虛擬電極與所述可動體為相同電位，
所述對稱部與所述第一虛擬電極的分開距離大于所述對稱部與所述第一檢測電極的分開距離，
在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：
第二檢測電極，與所述第二可動部重疊設置；以及
第二虛擬電極，在比所述第二檢測電極距離所述擺動軸更遠的一側與所述第二可動部重疊設置，所述第二虛擬電極與所述可動體為相同電位，
所述第二可動部與所述第二虛擬電極的分開距離大于所述第二可動部與所述第二檢測電極的分開距離。
2.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，
所述非對稱部與所述第一虛擬電極的分開距離大于所述對稱部與所述第一檢測電極的分開距離。
3.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，
在從所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有第三虛擬電極，所述第三虛擬電極位于所述第一檢測電極與所述第二檢測電極之間并與所述可動體重疊設置，
所述可動體與所述第三虛擬電極的分開距離大于所述第一可動部與所述第一檢測電極的分開距離以及所述第二可動部與所述第二檢測電極的分開距離。
4.根據權利要求1或2所述的慣性傳感器，其特征在于，
在所述第一可動部以及所述第二可動部分別設置有在所述Z軸方向上貫通所述可動體的貫通孔。
5.一種電子設備，其特征在于，具有：
權利要求1至4中任一項所述的慣性傳感器；以及
控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測信號來進行控制。
6.一種移動體，其特征在于，具有：
權利要求1至4中任一項所述的慣性傳感器；以及
控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測信號來進行控制。
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