[發明專利]一種制備高純球形金屬粉體的設備及方法

在審

• 申請號: 202010579822.5
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111545766A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 柯良節
• 申請（專利權）人: 柯良節
• 主分類號: B22F9/14
• 分類號: B22F9/14
• 代理公司: 深圳市君勝知識產權代理事務所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱

1.一種制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，包括自動送粉裝置，與所述自動送粉裝置連接的反應生成室，與所述反應生成室連接的射頻等離子體發生器，所述自動送粉裝置用于將形狀不規則的原料粉體顆粒送入所述反應生成室，所述射頻等離子體發生器用于對送入所述反應生成室的原料粉體顆粒進行加熱熔化并形成高純球形金屬粉體。

2.根據權利要求1所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括與所述射頻等離子體發生器電連接的控制系統，所述控制系統內設置有與所述射頻等離子體發生器電連接的射頻電源。

3.根據權利要求1所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括與所述射頻等離子體發生器以及自動送粉裝置分別連通的氣柜，所述氣柜用于存儲等離子體反應氣體、保護氣體及載流氣體。

4.根據權利要求1所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括與所述反應生成室連通的真空手套箱收粉系統。

5.根據權利要求4所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括與所述真空手套箱收粉系統連通的旋風除塵裝置。

6.根據權利要求5所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括設置在所述旋風除塵裝置底部的除塵收粉罐。

7.根據權利要求1所述制備高純球形金屬粉體的設備，其特征在于，還包括與所述反應生成室以及射頻等離子體發生器連通的水環式真空泵組。

8.一種基于權利要求1-7任一所述設備制備高純球形金屬粉體的方法，其特征在于，包括步驟：

自動送粉裝置將原料粉體顆粒送入反應生成室；

啟動射頻等離子體發生器對送入所述反應生成室的原料粉體顆粒進行加熱熔化，得到球形金屬液滴，所述球形金屬液滴凝固后形成所述高純球形金屬粉體。