[發(fā)明專利]一種卡夾支撐桿間距的測量裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010579628.7
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN111707203A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孟良輝;李巍;余意;朱成松
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢天馬微電子有限公司
• 主分類號: G01B11/14
• 分類號: G01B11/14;G01B5/00
• 代理公司: 北京允天律師事務(wù)所 11697
• 代理人: 王榮

本發(fā)明提供了一種卡夾支撐桿間距的測量裝置，通過控制組件控制絲杠的旋轉(zhuǎn)方向，以帶動測量組件在垂直于支撐桿的延伸方向上對支撐桿的位置進行定位測量，依據(jù)測量結(jié)果計算相鄰兩根支撐桿之間的間距。該測量裝置相比較人工測量和通過視覺設(shè)備進行測量的方式而言，其測量精度較高且測量效率高。并且，該測量裝置還設(shè)置有第一滑軌，將測量組件的第一端固定在絲杠上，第二端固定在第一滑軌上，極大程度的提高了測量組件的穩(wěn)定性，以及運動過程中的平滑性，可以更為準確的定位每一根支撐桿的位置，進而提高卡夾支撐桿間距的測量精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及無塵車間裝置檢測技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種卡夾支撐桿間距的測量裝置。

背景技術(shù)

目前在無塵車間內(nèi)對Cassette(卡夾)進行檢測的方式主要包括以下兩種：

其一，作業(yè)人員通過手推車將PORT口(上料口或下料口)的Cassette拉出并搬運至指定的檢測區(qū)域，采用固定的量具手動測量相鄰兩根支撐桿之間的間距，根據(jù)間距測量值判斷Cassette的支撐桿是否變形，同時，使用水平儀對Cassette整體框架進行檢測，確認框架是否變形。

但是，該檢測方式需要至少兩名作業(yè)人員對Cassette進行搬運和檢測，其運輸路徑長且人工檢測精度低，并且，出庫點檢后的Cassette需要做清洗制程，否則后續(xù)使用的制品極易造成污染。

其二，在PORT口增加一套視覺設(shè)備來進行拍照，通過對圖像進行視覺處理計算出Cassette相鄰兩根支撐桿之間的間距，從而判斷Cassette是否滿足要求。

但是，由于Cassette的尺寸較大，多根支撐桿從上到下的范圍較大，進而需要至少兩個相機同時抓拍拼湊配合使用，才能拍攝全部的支撐桿。而拍攝大視野圖片存在圖片畸變的問題，導致視覺算法處理難度高，計算精度差等問題。

那么，如何提供一種結(jié)構(gòu)簡單且檢測精度高的卡夾支撐桿間距的測量裝置，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，為解決上述問題，本發(fā)明提供一種卡夾支撐桿間距的測量裝置，技術(shù)方案如下：

一種卡夾支撐桿間距的測量裝置，所述測量裝置包括：

底座；

安裝在所述底座上的控制組件、絲杠、測量組件和第一滑軌；

其中，所述測量組件的第一端固定在所述絲杠上，第二端固定在所述第一滑軌上；

所述控制組件用于控制所述絲杠的旋轉(zhuǎn)方向，以帶動所述測量組件在垂直于所述支撐桿的延伸方向上對所述支撐桿的位置進行定位測量，依據(jù)測量結(jié)果計算相鄰兩根支撐桿之間的間距。

相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實現(xiàn)的有益效果為：

本發(fā)明提供的一種卡夾支撐桿間距的測量裝置，通過控制組件控制絲杠的旋轉(zhuǎn)方向，以帶動測量組件在垂直于支撐桿的延伸方向上對支撐桿的位置進行定位測量，依據(jù)測量結(jié)果計算相鄰兩根支撐桿之間的間距。該測量裝置相比較人工測量和通過視覺設(shè)備進行測量的方式而言，其測量精度較高且測量效率高。

并且，該測量裝置還設(shè)置有第一滑軌，將測量組件的第一端固定在絲杠上，第二端固定在第一滑軌上，極大程度的提高了測量組件的穩(wěn)定性，以及運動過程中的平滑性，可以更為準確的定位每一根支撐桿的位置，進而提高卡夾支撐桿間距的測量精度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實施例提供的一種卡夾支撐桿間距的測量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；