[發(fā)明專利]用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010579347.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN113120490B
• 公開（公告）日: 2023-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭宗圣;李瑄;白峻榮;黃冠維;黃志宏;朱延安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B65G1/04
• 分類號(hào): B65G1/04
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 王素琴

1.一種用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，包括：

半導(dǎo)體處理單元；

自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具；以及

倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備，

其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備包括至少一個(gè)輸入口、至少一個(gè)輸出口、至少一個(gè)裝卸口及在所述至少一個(gè)裝卸口正下方的交換區(qū)，其中所述至少一個(gè)輸入口、所述至少一個(gè)輸出口及所述至少一個(gè)裝卸口在x方向上彼此相鄰，所述至少一個(gè)輸出口位于所述至少一個(gè)輸入口與所述至少一個(gè)裝卸口之間，且所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備被配置成實(shí)行以下操作中的至少一者：

在所述至少一個(gè)輸入口處從所述自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具接收多個(gè)托盤匣容器，

通過所述至少一個(gè)輸入口將所述多個(gè)托盤匣容器中的每一者中的至少一個(gè)托盤匣先沿z方向再沿x方向運(yùn)送到所述交換區(qū)，再由所述交換區(qū)沿-z方向?qū)⑺鲋辽僖粋€(gè)托盤匣運(yùn)送到所述至少一個(gè)裝卸口，

通過與所述至少一個(gè)裝卸口連接的托盤饋送輸送機(jī)沿y方向?qū)⒅辽僖粋€(gè)第一托盤從所述至少一個(gè)托盤匣運(yùn)送到所述半導(dǎo)體處理單元，并通過所述托盤饋送輸送機(jī)從所述半導(dǎo)體處理單元接收至少一個(gè)第二托盤。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備被配置成通過所述至少一個(gè)裝卸口而與所述半導(dǎo)體處理單元進(jìn)行接口，并通過所述至少一個(gè)輸入口及所述至少一個(gè)輸出口而與所述自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具進(jìn)行接口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備還被配置成實(shí)行以下操作中的一者：將所述多個(gè)托盤匣容器從所述至少一個(gè)輸入口運(yùn)送到所述至少一個(gè)輸出口，并將所述至少一個(gè)第二托盤分揀在所述至少一個(gè)托盤匣中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述第二托盤是以下中的一者：空的所述第一托盤及具有多個(gè)半導(dǎo)體管芯的所述第一托盤。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，還包括計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備還包括托盤匣機(jī)械臂，其中所述托盤匣機(jī)械臂被配置成在所述裝卸口與以下中的至少一者之間在所述多個(gè)托盤匣容器中的每一者中運(yùn)送所述至少一個(gè)托盤匣：所述輸入口及所述輸出口。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備被配置成將所述至少一個(gè)托盤匣從所述裝卸口運(yùn)送到所述至少一個(gè)輸出口，將所述至少一個(gè)托盤放置在所述多個(gè)托盤匣容器上，并將所述多個(gè)托盤匣容器裝載到所述自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具上。

8.一種用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，包括：

半導(dǎo)體處理單元；

自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具；以及

倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備，

其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備包括至少一個(gè)輸入口、至少一個(gè)輸出口、至少一個(gè)裝卸口及在所述至少一個(gè)裝卸口正下方的交換區(qū)，其中所述至少一個(gè)輸入口、所述至少一個(gè)輸出口及所述至少一個(gè)裝卸口在水平方向上彼此相鄰，所述至少一個(gè)輸出口位于所述至少一個(gè)輸入口與所述至少一個(gè)裝卸口之間，且所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備被配置成實(shí)行以下操作中的至少一者：

在所述至少一個(gè)輸入口處從所述自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具接收多個(gè)托盤匣容器，

通過所述至少一個(gè)輸入口將所述多個(gè)托盤匣容器中的每一者中的至少一個(gè)托盤匣先向下再沿所述水平方向平移運(yùn)送到所述交換區(qū)，再由所述交換區(qū)向上將所述至少一個(gè)托盤匣運(yùn)送到所述至少一個(gè)裝卸口，

通過與所述至少一個(gè)裝卸口連接的托盤饋送輸送機(jī)沿另一水平方向?qū)⒅辽僖粋€(gè)第一托盤從所述至少一個(gè)托盤匣運(yùn)送到所述半導(dǎo)體處理單元，并通過所述托盤饋送輸送機(jī)從所述半導(dǎo)體處理單元接收至少一個(gè)第二托盤，

其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備被配置成通過所述至少一個(gè)裝卸口而與所述半導(dǎo)體處理單元進(jìn)行接口，并通過所述至少一個(gè)輸入口及所述至少一個(gè)輸出口而與所述自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)載工具進(jìn)行接口。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于托盤匣倉(cāng)儲(chǔ)的系統(tǒng)，其中所述倉(cāng)儲(chǔ)設(shè)備還被配置成實(shí)行以下操作中的一者：將所述多個(gè)托盤匣容器從所述至少一個(gè)輸入口運(yùn)送到所述至少一個(gè)輸出口，并將所述至少一個(gè)第二托盤分揀在所述至少一個(gè)托盤匣中。