[發(fā)明專利]一種線圈結(jié)構(gòu)及半導(dǎo)體加工設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010578805.X
• 申請(qǐng)日: 2020-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN111785605A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韋剛;陳星;牛晨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32;H01L21/67;H01F5/00;H01F5/04
• 代理公司: 北京薈英捷創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11726
• 代理人: 王獻(xiàn)茹

1.一種線圈結(jié)構(gòu)，用于半導(dǎo)體設(shè)備，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括至少一組線圈組(100)；

所述線圈組(100)包括第一線圈(110)和第二線圈(120)，所述第一線圈(110)和所述第二線圈(120)纏繞形成環(huán)形區(qū)域，所述第一線圈(110)的第一端和所述第二線圈(120)的第一端均逐漸靠近所述環(huán)形區(qū)域的內(nèi)環(huán)，所述第一線圈(110)的第二端和所述第二線圈(120)的第二端均逐漸靠近所述環(huán)形區(qū)域的外環(huán)；

所述第一線圈(110)的第一端與所述第二線圈(120)的第一端電連接，或者，所述第一線圈(110)的第二端與所述第二線圈(120)的第二端電連接；

所述第一線圈(110)在垂直于所述線圈結(jié)構(gòu)的軸向的平面形成第一投影，所述第二線圈(120)在垂直于所述線圈結(jié)構(gòu)的軸向的平面形成第二投影，且所述第一投影與所述第二投影鏡像對(duì)稱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一線圈(110)與所述第二線圈(120)上下間隔設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，沿所述線圈結(jié)構(gòu)的軸向，所述第一線圈(110)的第一端與所述第二線圈(120)的第一端間隔設(shè)置，且兩端的連線與所述線圈結(jié)構(gòu)的軸線相平行。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括多組線圈組(100)，且多組所述線圈組中的所述第一線圈(110)的第一端均在第一平面上，多組所述線圈組(100)中的所述第二線圈(120)的第一端均在第二平面上，且所述第一平面與所述第二平面之間具有預(yù)設(shè)距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述預(yù)設(shè)距離為10mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一線圈(110)和所述第二線圈(120)的繞制軌跡均為螺旋線形或漸近線形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一線圈(120)和所述第二線圈(120)的繞制匝數(shù)均為0.5匝的整數(shù)倍。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括多組所述線圈組(100)，且沿所述線圈結(jié)構(gòu)的周向均勻排布。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括四組、六組或八組所述線圈組(100)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一線圈(100)和所述第二線圈(120)的橫截面形狀為帶狀、環(huán)形、圓形或矩形。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括第一連接件(210)和第二連接件(220)；

所述第一連接件(210)與所述第一線圈(110)的第二端電連接，所述第二連接件(220)與所述第二線圈(120)的第二端電連接；

所述第一連接件(210)和所述第二連接件(220)中的一者用于輸入功率，另一者用于接地。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一連接件(210)和所述第二連接件(220)均為環(huán)狀結(jié)構(gòu)，且所述第一連接件(210)和所述第二連接件(220)沿所述線圈結(jié)構(gòu)軸向間隔設(shè)置。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的線圈結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述線圈結(jié)構(gòu)包括第三連接件(230)和第四連接件(240)；

所述第三連接件(230)與第一連接件(210)通過第一連接條(250)電連接，所述第四連接件(240)與第二連接件(220)通過第二連接條(260)電連接；

所述第三連接件(230)和所述第四連接件(240)中的一者用于輸入功率，另一者用于接地。