[發(fā)明專利]一種彈性緩沖吸頭裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010578087.6
• 申請(qǐng)日: 2020-06-23
• 公開（公告）號(hào): CN111807047A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李金龍;熊化兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 王海軍

本發(fā)明涉及物料取放領(lǐng)域，具體涉及一種彈性緩沖吸頭裝置，包括：吸頭桿套筒1、吸頭桿2、吸頭桿壓緊彈簧7、彈簧鎖定螺釘8，所述吸頭桿套筒1上端設(shè)置有安裝底座16；吸頭桿套筒1的套筒內(nèi)壁上部設(shè)置有螺紋；所述彈簧鎖定螺釘8的大小與吸頭桿套筒1的內(nèi)徑相一致，固定在吸頭桿套筒1內(nèi)壁上部；所述吸頭桿壓緊彈簧7通過螺紋和彈簧鎖定螺釘8固定在吸頭桿套筒1內(nèi)部；所述吸頭桿套筒1的內(nèi)壁中部設(shè)置有向內(nèi)凸出的限位臺(tái)階9，所述吸頭桿2通過限位臺(tái)階9和吸頭桿壓緊彈簧7固定在吸頭桿套筒1內(nèi)部。本發(fā)明的一種彈性緩沖吸頭裝置可以實(shí)現(xiàn)物料的高精度重復(fù)定位取放，并能夠較好控制物料取放時(shí)的緩沖力和接觸力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及物料取放領(lǐng)域，具體涉及一種彈性緩沖吸頭裝置。

背景技術(shù)

在自動(dòng)、半自動(dòng)化的集成電路工藝中，包括管殼、基板、芯片、蓋板、晶圓等物料在內(nèi)的取放不可避免，尤其在高精度可重復(fù)定位的場合，一方面，需要對(duì)識(shí)別定位后的物料進(jìn)行高精度的取放，另一方面，需要對(duì)物料取放時(shí)的接觸力進(jìn)行精密控制和緩沖，以防止損傷物料邊緣或表面。

物料的取放通常采用桿狀內(nèi)通孔加載真空，使用真空吸附力的方式實(shí)現(xiàn)，在取放的過程中，有的接觸方式為力控制，有的接觸方式為彈片式彈性控制。

常見的接觸力控制方法為，采用壓力傳感器檢測及反饋對(duì)Z軸馬達(dá)進(jìn)行控制，達(dá)到接觸檢測壓力或設(shè)定的取放力后再實(shí)施物料的取放，兼顧了高精度重復(fù)定位但無法實(shí)現(xiàn)彈性緩沖，通常情況下，因物料固定治具及物料本身厚度公差的差異，使用沒有彈性緩沖的壓力傳感器容易出現(xiàn)壓力瞬間超限，瞬間接觸力巨大而使物料直接損壞無法使用，增大生產(chǎn)成本。而一般常見的彈性裝置為彈片式，兼顧了彈性緩沖但很難兼顧高精度重復(fù)定位。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述傳統(tǒng)彈性裝置無法兼顧彈性緩沖和高精度重復(fù)定位的問題，本發(fā)明提供一種彈性緩沖吸頭裝置，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)物料的高精度重復(fù)定位取放，并能夠較好控制物料取放時(shí)的緩沖力和接觸力。

一種彈性緩沖吸頭裝置，包括：吸頭桿套筒1、吸頭桿2、吸頭桿壓緊彈簧7、彈簧鎖定螺釘8，所述吸頭桿套筒1上端設(shè)置有安裝底座16；吸頭桿套筒1的套筒內(nèi)壁上部設(shè)置有螺紋；所述彈簧鎖定螺釘8的大小與吸頭桿套筒1的內(nèi)徑相一致，固定在吸頭桿套筒1內(nèi)壁上部；所述吸頭桿壓緊彈簧7通過螺紋和彈簧鎖定螺釘8固定在吸頭桿套筒1內(nèi)部；所述吸頭桿套筒1的內(nèi)壁中部設(shè)置有向內(nèi)凸出的限位臺(tái)階9，所述吸頭桿2通過限位臺(tái)階9和吸頭桿壓緊彈簧7固定在吸頭桿套筒1內(nèi)部。

進(jìn)一步的，所述安裝底座16的兩側(cè)各設(shè)置有一個(gè)底部通孔14，兩個(gè)底部通孔14大小相等、位置對(duì)稱。

進(jìn)一步的，所述吸頭桿套筒1采用高強(qiáng)度防銹金屬材料，包括高速鋼、鉻鋼、鎢鋼中的任意一種。

進(jìn)一步的，吸頭桿套筒1一側(cè)的下部位置設(shè)置有吸頭桿定位滾珠3，所述吸頭桿定位滾珠3通過與吸頭桿定位滾珠3水平設(shè)置的滾珠壓縮彈簧4及其彈簧鎖定螺釘5從側(cè)面向內(nèi)壓縮固定。

進(jìn)一步的，所述吸頭桿定位滾珠3采用高強(qiáng)度防銹耐磨金屬材料制作，包括高速鋼、鉻鋼或鎢鋼中的任意一種，吸頭桿定位滾珠3的表面粗糙度小于0.8。

進(jìn)一步的，吸頭桿2上部的外側(cè)一端設(shè)置有半圓形凹槽10，且半圓形凹槽10的內(nèi)徑與吸頭桿定位滾珠3的球徑一致。

進(jìn)一步的，所述吸頭桿2為筒狀結(jié)構(gòu)，吸頭桿外徑12與限位臺(tái)階9的內(nèi)徑一致；吸頭桿2的內(nèi)徑大小與要使用的吸頭尺寸一致；吸頭桿2上部設(shè)置有向外凸出的限位結(jié)構(gòu)，限位結(jié)構(gòu)的外徑與吸頭桿套筒1的筒內(nèi)徑相一致。

進(jìn)一步的，所述吸頭桿2下部的外側(cè)一端設(shè)置有吸頭固定螺釘6，吸頭通過吸頭固定螺釘6固定在吸頭桿2上。

進(jìn)一步的，所述吸頭桿2采用高強(qiáng)度防銹金屬材料制作，包括高速鋼、鉻鋼、鎢鋼中的任意一種。