[發明專利]慣性傳感器、電子設備及移動體

有效

• 申請號: 202010578057.5
• 申請日: 2020-06-23
• 公開（公告）號: CN112147369B
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發明（設計）人: 田中悟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;G01P15/125
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 紀秀鳳

提供慣性傳感器、電子設備及移動體。當將相互正交的三個軸作為X軸、Y軸和Z軸時，慣性傳感器具有：基板；可動體，繞沿所述Y軸的擺動軸擺動；以及突起，在從所述Z軸方向的俯視觀察時與所述可動體重疊，并從所述基板向所述可動體側突出設置，其中所述突起具有近端側突起和位于相比于所述近端側突起遠離所述擺動軸的側的遠端側突起，當所述可動體繞所述擺動軸相對于所述基板擺動時，所述近端側突起及所述遠端側突起同時與所述可動體接觸或在所述近端側突起與所述可動體接觸后所述遠端側突起與所述可動體接觸。

技術領域

本發明涉及慣性傳感器、電子設備及移動體。

背景技術

例如，在專利文獻1中記載的慣性傳感器是能夠檢測Z軸方向的加速度的傳感器，其具有：基板、繞沿Y軸方向的擺動軸相對于基板進行蹺蹺板擺動的可動體、以及設置于基板的檢測電極。此外，可動體具有隔著擺動軸設置并繞擺動軸的旋轉力矩相互不同的第一可動部及第二可動部。此外，檢測電極具有與第一可動部相對地配置于基板的第一檢測電極和與第二可動部相對地配置于基板的第二檢測電極。

在這種構成的慣性傳感器中，如果施加Z軸方向的加速度，則可動體繞擺動軸進行蹺蹺板擺動，伴隨于此，第一可動部與第一檢測電極之間的靜電電容和第二可動部與第二檢測電極之間的靜電電容相互反相地變化。因此，能夠基于該靜電電容的變化來檢測Z軸方向的加速度。

此外，在專利文獻1中記載的慣性傳感器具有止動件，該止動件設置于基板，用于在可動體過度地進行蹺蹺板擺動時通過與可動體接觸來限制可動體進一步的位移。此外，止動件具有第一止動件和與第一止動件相比位于遠離擺動軸的側的第二止動件。

專利文獻1：日本特開2015-031644號公報。

但是，在專利文獻1的慣性傳感器中，第一止動件與第二止動件高度相同。因此，可動體如果過度地進行蹺蹺板擺動，則首先與距擺動軸為遠端側的第二止動件接觸，在其沖擊下向基板側撓曲而與近端側的第一止動件接觸。由此，如果可動體先與遠端側的第二止動件接觸，則接觸時的沖擊容易變大，在其沖擊下可動體和/或基板容易破損。

發明內容

實施方式記載的慣性傳感器的特征在于，當將相互正交的三個軸作為X軸、Y軸和Z軸時，具有：基板；可動體，繞沿所述Y軸的擺動軸擺動；以及突起，在從所述Z軸方向的俯視觀察時與所述可動體重疊，并從所述基板向所述可動體側突出設置，其中所述突起具有近端側突起和位于相比于所述近端側突起遠離所述擺動軸的側的遠端側突起，當所述可動體繞所述擺動相對于所述基板軸擺動時，所述近端側突起及所述遠端側突起同時與所述可動體接觸或在所述近端側突起與所述可動體接觸后所述遠端側突起與所述可動體接觸。

附圖說明

圖1是示出第一實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖2是圖1中的A-A線剖視圖。

圖3是示出慣性傳感器所具有的突起的俯視圖。

圖4是圖3中的B-B線剖視圖，是用于說明突起的功能的剖視圖。

圖5是圖3中的B-B線剖視圖，是用于說明突起的功能的剖視圖。

圖6是示出第二實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖7是示出第三實施方式的慣性傳感器的俯視圖。

圖8是示出第四實施方式的慣性傳感器的剖視圖。

圖9是示出第五實施方式的作為電子設備的智能手機的俯視圖。

圖10是示出第六實施方式的作為電子設備的慣性計測裝置的分解立體圖。

圖11是圖10所示的慣性計測裝置所具有的基板的立體圖。

圖12是示出第七實施方式的作為電子設備的移動體位置測定裝置的整體系統的框圖。