[發明專利]慣性傳感器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 202010572531.3
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN112129972B
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 田中悟
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;G01P15/125;G01P15/097
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丹

1.一種慣性傳感器，其特征在于，

在將彼此正交的三軸設為X軸、Y軸以及Z軸時，具有：

基板；

可動體，繞沿著所述Y軸的搖動軸搖動；以及

電極，配置于所述基板，在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，與所述可動體重疊，

所述可動體具有在沿所述Z軸方向的俯視觀察下夾著所述搖動軸而設置的第一可動部以及第二可動部，

在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，所述第一可動部具有：對稱部，設置為與所述第二可動部相對于所述搖動軸對稱；非對稱部，位于比所述對稱部離所述搖動軸更遠側，且繞所述搖動軸的轉矩比所述第二可動部大，

在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：第一檢測電極，設置為與所述第一可動部的所述對稱部重疊；以及第一虛設電極，與所述可動體為同電位，且設置為在比所述第一檢測電極離所述搖動軸更遠側處與所述第一可動部的所述對稱部以及所述非對稱部重疊，

在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，所述對稱部具有：第一開口，設置于與所述第一檢測電極重疊的第一部分；第二開口，設置于與所述第一虛設電極重疊的第二部分，

所述第一開口相對于所述第一部分的開口率比所述第二開口相對于所述第二部分的開口率小，

所述非對稱部具有第五開口，

所述第五開口相對于所述非對稱部的開口率比所述第二開口相對于所述第二部分的開口率小。

2.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，所述電極具有：第二檢測電極，設置為與所述第二可動部重疊；以及第二虛設電極，與所述可動體為同電位，且設置為在比所述第二檢測電極離所述搖動軸更遠側處與所述第二可動部重疊，

在沿所述Z軸方向的俯視觀察下，所述第二可動部具有：第三開口，設置于與所述第二檢測電極重疊的第三部分；以及第四開口，設置于與所述第二虛設電極重疊的第四部分，

所述第三開口相對于所述第三部分的開口率比所述第四開口相對于所述第四部分的開口率小。

3.根據權利要求2所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述第一開口以及所述第三開口設置為相對于所述搖動軸對稱，

所述第二開口以及所述第四開口設置為相對于所述搖動軸對稱。

4.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述第五開口相對于所述非對稱部的開口率比所述第一開口相對于所述第一部分的開口率小。

5.根據權利要求1所述的慣性傳感器，其特征在于，

所述非對稱部與所述基板之間的分離距離比所述對稱部與所述基板之間的分離距離大。

6.一種電子設備，其特征在于，具有：

權利要求1至5中任一項所述的慣性傳感器；以及

控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測信號來進行控制。

7.一種移動體，其特征在于，具有：

權利要求1至5中任一項所述的慣性傳感器；以及

控制電路，基于從所述慣性傳感器輸出的檢測信號來進行控制。