[發(fā)明專利]一種微流控檢測芯片、其制作方法及使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010572413.2
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111686830B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳江博;鄧林;孟凡理;李延釗
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B01L3/00
• 分類號: B01L3/00;G01N21/25;G01N35/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 姚楠

本發(fā)明公開了一種微流控檢測芯片、其制作方法及使用方法，該微流控檢測芯片，包括：襯底基板，位于襯底基板之上的微流道層，以及位于微流道層背離襯底基板一側(cè)的雪崩光電二極管；雪崩光電二極管位于微流道層的微流道的位置處，用于檢測微流道內(nèi)的液體產(chǎn)生的光線。本發(fā)明實施例中，通過將雪崩光電二極管集成到微流控檢測芯片中，提高了微流控檢測芯片的檢測成功率，可以實現(xiàn)高增益、極微弱光甚至單光子的光譜檢測。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種微流控檢測芯片、其制作方法及使用方法。

背景技術(shù)

生物芯片技術(shù)是通過縮微技術(shù)，根據(jù)分子間特異性地相互作用的原理，將生命科學(xué)領(lǐng)域中不連續(xù)的分析過程，集成于芯片表面的微型生物化學(xué)分析系統(tǒng)，以實現(xiàn)對細胞、蛋白質(zhì)、基因及其它生物組分的準(zhǔn)確、快速、大信息量的檢測。

由于待檢測物質(zhì)發(fā)光強度較弱，普通的非晶硅探測器或光電二極管已經(jīng)不能滿足探測需求，導(dǎo)致生物芯片檢測成功率不高，然而，由于制作工藝的限制，更高檢測能力的探測器難以集成到生物芯片中。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供了一種微流控檢測芯片、其制作方法及使用方法，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的生物芯片檢測成功率不高的問題。

第一方面，本發(fā)明實施例提供了一種微流控檢測芯片，包括：襯底基板，位于所述襯底基板之上的微流道層，以及位于所述微流道層背離所述襯底基板一側(cè)的雪崩光電二極管；

所述雪崩光電二極管位于所述微流道層的微流道的位置處，用于檢測所述微流道內(nèi)的液體產(chǎn)生的光線。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述微流控檢測芯片中，所述微流道，包括：第一微流道，第二微流道以及第三微流道；

所述第一微流道的一端為樣品輸入端，另一端與所述第三微流道連接；

所述第二微流道的一端為檢測試劑輸入端，另一端與所述第三微流道連接；

所述第三微流道的一端與所述第一微流道和所述第二微流道連接，另一端為輸出端；

所述雪崩光電二極管位于所述第三微流道的位置處。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述微流控檢測芯片中，所述雪崩光電二極管，包括：依次層疊設(shè)置的P型重摻半導(dǎo)體層、本征半導(dǎo)體層、P型輕摻半導(dǎo)體層、N型重摻半導(dǎo)體層，與所述P型重摻半導(dǎo)體層電連接的第一電極，以及與所述N型重摻半導(dǎo)體層電連接的第二電極。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述微流控檢測芯片中，所述微流道層包括聚二甲基硅氧烷材料。

第二方面，本發(fā)明實施例還提供了一種上述微流控檢測芯片的制作方法，包括：

在襯底基板之上形成包括微流道的微流道層；

在硅基襯底之上形成雪崩光電二極管，并剝離形成的所述雪崩光電二極管；

將所述雪崩光電二極管鍵合到所述微流道層背離所述襯底基板的一側(cè)，且所述雪崩光電二極管位于所述微流道層的微流道的位置處。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述制作方法中，所述在襯底基板之上形成包括微流道的微流道層，包括：

在基底之上形成與將要制作的微流道形狀一致的模板；

將聚二甲基硅氧烷材料澆鑄到所述模板之上，以形成所述微流道層；

將所述模板之上的所述微流道層進行脫模；

將所述微流道層鍵合到所述襯底基板之上。

在一種可能的實現(xiàn)方式中，在本發(fā)明實施例提供的上述制作方法中，所述在基底之上形成與將要制作的微流道形狀一致的模板，包括：