[發明專利]基于γ-石墨二炔的可調頻納機電諧振器

有效

• 申請號: 202010571050.0
• 申請日: 2020-06-22
• 公開（公告）號: CN111600564B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 田文超;李文華;馮學貴;陳勇
• 申請（專利權）人: 西安電子科技大學;佛山市藍箭電子股份有限公司
• 主分類號: H03H3/007
• 分類號: H03H3/007;H03H3/04;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/15;H03H9/17
• 代理公司: 陜西電子工業專利中心 61205
• 代理人: 王品華;黎漢華

1.一種基于γ-石墨二炔的可調頻納機電諧振器，包括， SiO₂襯底（4）、Si基底（6）、柵極電極（5），源極電極（3），漏極電極（8）及復合薄膜（2），其特征在于：還包括兩個溫控電極（1）和高介電陶瓷基底（7）；

所述兩個溫控電極（1）對稱分布于于復合薄膜（2）上表面的兩側，通過溫控電極（1）改變復合薄膜彈性模量和剛度，實現對諧振頻率的改變；

所述Si基底（6）對稱分布于高介電陶瓷基底（7）上表面的兩側，構成雙層基底結構；

所述柵極電極（5）位于高介電陶瓷基底（7）上表面的正中位置；

所述復合薄膜（2），其位于源極電極（3）、漏極電極（8）和SiO₂襯底（4）的上表面，且采用自上而下由溫控層（21）、介質層（22）和導電層（23）組成的三層結構。

2.根據權利要求1所述的諧振器，其特征在于，所述三層結構形式的復合薄膜（2），其上部的溫控層（21）材料為形狀記憶聚合物，中間的介質層（22）材料為聚二甲基硅氧烷，下部的導電層（23）材料為γ-石墨二炔。

3.根據權利要求1所述的諧振器，兩個溫控電極（1）均選用具有高導電特性的Au材料，以降低能量損耗和靜電擾動。

4.根據權利要求1所述諧振器，其特征在于，所述源極電極（3）、漏極電極（8）和柵極電極（5），均采用Au或Pt、Ti 合金材料。

5.根據權利要求2所述諧振器，其特征在于，溫控層（21）采用的形狀記憶聚合物，其彈性模量可變，通過溫度激發其大分子鏈活性發生的松弛、交聯、相變這些微觀結構變化，當其溫度達到玻化溫度時，形狀記憶聚合物彈性模量會銳減；當其溫度低于玻化溫度時形狀記憶聚合物彈性模量會劇增。