[發明專利]一種提高石墨爐具清理效率的處理方法

在審

• 申請號: 202010569716.9
• 申請日: 2020-06-20
• 公開（公告）號: CN111809164A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 劉汝強;王殿春;張峰;吳思華;周清波
• 申請（專利權）人: 山東國晶新材料有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 顏洪嶺

1.一種提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)爐具初始加工過程中，控制爐具整體的表面粗糙度，使加工完成后的爐具整體的表面粗糙度Ra為5-6um；

2)爐具安裝后，由于裝爐方式是不變的，根據爐具長期的生產過程獲知爐具上的主要沉積部位包括石墨套筒的內表面、石墨料盤面向反應腔室的一面以及反應腔室內處于反應區的爐具表面；

3)在進行新一爐生產前，使用100-500目砂紙對石墨爐具主要沉積部位表面進行粗拋光，拋光時爐具平面、弧面直接水平方向進行打磨，圓柱面進行轉動打磨，直至打磨到露出石墨即可；

4)粗拋光后再使用800-2000目砂紙進行精拋光，精拋光時對于平面要轉圈式打磨，圓面、弧面仍是轉動打磨，最終精拋光后的粗糙度Ra為0.5-1um。

2.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，步驟1)中，爐具初始加工過程中，通過控制進給速度和車削刀具的選用來控制爐具整體的表面粗糙度。

3.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，步驟1)中，加工完成后的爐具整體的表面粗糙度Ra為5um。

4.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，步驟3)中，粗拋光后的粗糙度Ra為3-4um。

5.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，步驟3)中，粗拋光后的粗糙度Ra為3um。

6.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，步驟4)中，精拋光后的粗糙度Ra為0.5um。

7.如權利要求1所述的提高石墨爐具清理效率的處理方法，其特征在于，精拋光完畢后采用表面粗糙度測量儀確定拋光部位的石墨爐具表面粗糙度值。