[發(fā)明專利]一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010569548.3
• 申請(qǐng)日: 2020-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN111501022A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳濤;李鴿;俞健;黃躍龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西南石油大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46;C23C16/458;C23C16/455;C23C16/32
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，包括外殼(1)，所述外殼(1)內(nèi)沿長(zhǎng)度方向并排設(shè)有若干個(gè)移動(dòng)平臺(tái)(2)，所述移動(dòng)平臺(tái)(2)均通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述外殼(1)內(nèi)，所述移動(dòng)平臺(tái)(2)上均固定設(shè)置有反應(yīng)室(3)，所述反應(yīng)室(3)內(nèi)均設(shè)置有熱絲氣相沉積反應(yīng)組件；所述外殼(1)內(nèi)的頂部還固定設(shè)置有加熱裝置(4)，所述加熱裝置(4)的底部設(shè)置有襯底托盤(5)，所述襯底托盤(5)用于安裝襯底。

2.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述熱絲氣相沉積反應(yīng)組件包括并排固定設(shè)置在所述反應(yīng)室(3)內(nèi)的若干個(gè)輸氣管(7)和若干個(gè)熱絲(8)，所述熱絲(8)均設(shè)置在對(duì)應(yīng)的所述輸氣管(7)的頂部，所述輸氣管(7)的管壁上均開有若干個(gè)通氣孔(70)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述熱絲(8)包括錸絲、石墨絲和鉭絲。

4.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述反應(yīng)室(3)的頂部均設(shè)置有密封蓋板(9)。

5.如權(quán)利要求4所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述密封蓋板(9)為伸縮板。

6.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述襯底托盤(5)的底部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有擋片(10)，用于遮擋所述襯底。

7.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括若干個(gè)滑軌(11)和滑塊(12)，所述滑軌(11)并排固定設(shè)置在所述外殼(1)底部，所述滑塊(12)固定設(shè)置在所述移動(dòng)平臺(tái)(2)的底部，所述移動(dòng)平臺(tái)(2)能夠通過(guò)所述滑塊(12)在所述滑軌(11)上滑動(dòng)。

8.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)平臺(tái)(2)在所述外殼(1)內(nèi)設(shè)置有2個(gè)。

9.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，所述反應(yīng)室(3)的材料為惰性陶瓷。

10.如權(quán)利要求1所述的一種多組熱絲反應(yīng)設(shè)備，其特征在于，每一個(gè)所述反應(yīng)室(3)內(nèi)的所述熱絲氣相沉積反應(yīng)組件均與外部獨(dú)立的輸氣系統(tǒng)和獨(dú)立的直流電源連接。