[發明專利]可自加熱的激光誘導石墨烯柔性NO2 在審
| 申請號： | 202010568801.3 | 申請日： | 2020-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN111537575A | 公開（公告）日： | 2020-08-14 |
| 發明（設計）人： | 楊麗;鄭廣浩;姬華東;王宏麗 | 申請（專利權）人： | 河北工業大學 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12;C01B32/184;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 天津翰林知識產權代理事務所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 付長杰 |
| 地址： | 300130 天津市紅橋區*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱 激光 誘導 石墨 柔性 no base sub | ||
1.一種可自加熱的激光誘導石墨烯柔性NO2氣體傳感器的制備方法，該方法包括下述步驟：
(1)將聚酰亞胺PI膠帶裁剪至所需尺寸的矩形形狀；
(2)通過水溶膠將經步驟(1)得到的PI膠帶粘至載玻片表面；
(3)將經步驟(2)得到的PI膠帶利用高能量激光誘導出三維石墨烯圖案，三維石墨烯圖案包括兩端的電極連接區域和連接兩電極連接區域的單線石墨烯區域，單線石墨烯區域起到連接兩電極連接區域的作用，形成導電通路，同時又能直接作為氣敏區域；所述單線石墨烯的寬度為40-90μm；
(4)將經步驟(3)得到的電極連接區域用導電銀墨水對其上表面完全涂覆，制成銀涂層區域；
(5)將涂好銀涂層的組合體脫離載玻片后，再通過熱釋活膠帶轉移至柔性可拉伸基底上，制成柔性氣體傳感器。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述柔性可拉伸基底為能彎曲、拉伸、能沿待粘貼對象表面貼合的材料，優選PDMS材料。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述激光為波長355nm的UV激光器，所述高能量激光參數為：激光功率1.0-1.5W，離焦距離4.5-5.5mm，掃描速度70-200mm/s；能獲得孔隙率更大的石墨烯微觀結構。
4.一種可自加熱的激光誘導石墨烯柔性NO2氣體傳感器，包括絕緣區域、電極區域、銀涂層區域和氣敏區域，所述絕緣區域設置于底端，所述電極區域設置于所述絕緣區域上表面，電極區域上左右兩端設置有激光誘導石墨烯形成的兩個電極連接區域，在電極連接區域上表面涂覆銀涂層，形成銀涂層區域，其特征在于：
兩個電極連接區域通過激光誘導石墨烯形成的單線石墨烯連接在一起；單線石墨烯所在區域直接為氣敏區域；單線石墨烯的寬度為40-100μm；兩個電極連接區域及單線石墨烯構成杠鈴型結構。
5.根據權利要求4所述的NO2氣體傳感器，其特征在于，電極連接區域為正方形、長方形、圓形、或其他不規則的長寬比為0.5-1.5的任意形狀。
6.根據權利要求4所述的NO2氣體傳感器，其特征在于，所述氣敏區域為單線結構，氣敏區域長度為1cm—1.5cm，寬度為40μm—80μm。
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