[發(fā)明專利]一種拋光墊材料及拋光墊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010568253.4 | 申請日： | 2020-06-19 |
| 公開（公告）號： | CN113896856B | 公開（公告）日： | 2023-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李善雄;楊濤;李俊峰;王文武 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院微電子研究所;真芯（北京）半導(dǎo)體有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | C08G18/44 | 分類號： | C08G18/44;C08G18/48;C08G18/42;B24B37/24 |
| 代理公司： | 北京知迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11628 | 代理人： | 王勝利 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 拋光 材料 | ||
1.一種拋光墊材料，其特征在于，所述拋光墊材料由異氰酸酯和多元醇制備而成；其中，所述拋光墊材料具有疏水性，所述拋光墊材料具有的疏水性至少由所述多元醇引入的疏水性基團(tuán)產(chǎn)生；
所述多元醇含有第一多元醇和第二多元醇，所述第一多元醇為接枝有疏水性基團(tuán)的聚酯聚碳酸酯多元醇；所述第一多元醇和所述第二多元醇的質(zhì)量比為(0.1～4.5)：(95.5～99.9)；所述第二多元醇與異氰酸酯的反應(yīng)活性高于第一多元醇與異氰酸酯的反應(yīng)活性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊材料，其特征在于，所述疏水性基團(tuán)為C6～C48的脂肪烴基、C3～C12烷基取代苯基、C6～C12的鹵代烷基中的一種或多種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述拋光墊材料，其特征在于，所述第二多元醇為苯二甲酸酐聚酯多元醇或聚醚多元醇。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述拋光墊材料，其特征在于，所述第二多元醇為聚丁二醇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊材料，其特征在于，所述異氰酸酯所含有的異氰酸基團(tuán)的摩爾百分比為33.5％～34.5％；所述異氰酸酯為2，4－甲苯二異氰酸酯、2，6－甲苯二異氰酸酯、二苯基甲烷二異氰酸酯中的一種或多種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述拋光墊材料，其特征在于，所述多元醇與所述異氰酸酯的質(zhì)量比為(0.1～4.5)：(95.5～99.9)。
7.一種拋光墊，其特征在于，包括權(quán)利要求1～6任一項所述拋光墊材料。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光墊，其特征在于，還包括硬化劑，所述拋光墊材料與所述硬化劑的質(zhì)量比為(90.1～99.9):(0.1～9.9)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的拋光墊，其特征在于，所述拋光墊的磨損量低于0.1mm/小時。
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