[發明專利]一種CVD的激光加工設備及操作方法

在審

• 申請號: 202010568228.6
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111906451A
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 張天潤;張文武;李又強;林倫
• 申請（專利權）人: 寧波大艾激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/064;B23K26/14;B23K26/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及一種CVD的激光加工設備及操作方法，涉及激光束加工領域，解決了只能裝夾固定尺寸較大的待加工件，很難對尺寸較小的待加工件進行裝夾固定，比如小尺寸的CVD金剛石，使得很難通過激光切割的方式加工小尺寸的CVD金剛石的問題，其包括機架和激光發射組件，還包括設于機架上的裝夾組件，所述裝夾組件包括設于聚焦鏡下側的裝夾架、固定于裝夾架上的裝夾塊和通過吸氣管與裝夾塊連接的抽氣件，所述機架具有一支撐板，所述裝夾架設于支撐板上，所述裝夾塊遠離裝夾架的一側開設有與吸氣管互相連通的吸附口。本申請具有實現了對小尺寸的待加工件裝夾固定，以對CVD金剛石等小尺寸待加工進行激光切割的效果。

技術領域

本申請涉及激光束加工的領域，尤其是涉及一種CVD的激光加工設備及操作方法。

背景技術

CVD金剛石是含碳氣體和氫氣的混合物在高溫和低于標準大氣壓的壓力下被激發分解，形成活性炭金剛石碳原子，并在基體上沉淀交互生長成聚晶金剛石，其使用范圍比較廣，利用其硬度可以用于刀具的制作，或者利用金剛石的化學穩定性制成各類生物傳感器件。

如申請號為201210084336.1的中國專利，公開了一種激光切割用夾具，包括支架，該支架和活動支撐板之間設有水平調節彈簧及對稱設置的水平支撐滾珠，活動支撐板上設置有左右對稱的二個夾裝部件，每個夾裝部件的連接固定板分別垂直設置于活動支撐板的一側，連接固定板和活動支撐板之間設置有彈簧導向桿固定板，其夾角30°≤α≤60°，彈簧導向桿固定板上設置的彈簧導向桿外套裝有垂直調節彈簧，垂直調節彈簧上方設置有與連接固定板的上端活動連接的支撐架支撐板，支撐架支撐板上設置有支撐件。

針對上述中的相關技術，發明人認為存在有只能裝夾固定尺寸較大的待加工件，很難對尺寸較小的待加工件進行裝夾固定，比如小尺寸的CVD金剛石，使得很難通過激光切割的方式加工小尺寸的CVD金剛石的缺陷。

發明內容

為了能夠裝夾固定小尺寸的待加工件，本申請一方面提供一種CVD的激光加工設備。

本申請提供的一種CVD的激光加工設備采用如下的技術方案：

一種CVD的激光加工設備，包括機架和激光發射組件，還包括設于機架上的裝夾組件，所述裝夾組件包括設于聚焦鏡下側的裝夾架、固定于裝夾架上的裝夾塊和通過吸氣管與裝夾塊連接的抽氣件，所述機架具有一支撐板，所述裝夾架設于支撐板上，所述裝夾塊遠離裝夾架的一側開設有與吸氣管互相連通的吸附口。

通過采用上述技術方案，抽氣件抽取吸附口內的空氣，形成負壓，以將CVD金剛石等小尺寸的待加工件裝夾于裝夾塊上，實現了對小尺寸的待加工件裝夾固定，以對CVD金剛石等小尺寸待加工進行激光切割。

優選的，還包括設于機架上的除塵組件，所述除塵組件包括除塵噴嘴、通過除塵管與除塵噴嘴連接的吹氣件、固定于聚焦鏡上的支撐桿、一端套設于支撐桿上且與支撐桿滑移連接的懸掛桿、螺紋連接于懸掛桿的一端且壓緊支撐桿的固定螺釘、穿設于懸掛桿的另一端且與懸掛桿轉動連接的固定柱和螺紋連接于懸掛桿的另一端且壓緊固定柱的鎖定螺釘，所述除塵噴嘴靠近除塵管的一端插接于固定柱上，所述除塵噴嘴朝向吸附口設置。

通過采用上述技術方案，吹氣件給除塵噴嘴供氣，以通過除塵噴嘴將待加工件上的灰塵吹掉，進而方便對待加工件進行切割加工，降低了灰塵對激光切割的影響，提高了激光切割的精度。

優選的，還包括設于裝夾架下方驅使裝夾架平移的驅動組件，所述支撐板上設有通孔，所述驅動組件包括第一直線驅動件，所述第一直線驅動件的驅動端穿設于通孔內且與裝夾架固定。

通過采用上述技術方案，方便通過第一直線驅動件調節裝夾架的位置，以對待加工進行精確切割加工，提高了切割加工的精度。

優選的，所述驅動組件還包括固定于機架上且驅動端與第一直線驅動件固定的第二直線驅動件，所述第一直線驅動件驅動端的運動方向與第二直線驅動件驅動端的運動方向互相垂直。