[發(fā)明專(zhuān)利]一種防偏色瞄準(zhǔn)鏡濾光膜、制備方法及濾光片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010567412.9
• 申請(qǐng)日: 2020-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111596393B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳小春;張智群
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三明福特科光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B5/20
• 分類(lèi)號(hào): G02B5/20;G02B23/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/22
• 代理公司: 福州市眾韜專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 35220
• 代理人: 方金芝

1.一種防偏色瞄準(zhǔn)鏡濾光膜，其特征在于：所述的濾光膜由如下35層膜層由下至上依次堆疊而成：第一M2膜層（1）、第一Ta₂O₅膜層（2）、第二M2膜層（3）、第二Ta₂O₅膜層（4）、第三M2膜層（5）、第三Ta₂O₅膜層（6）、第四M2膜層（7）、第四Ta₂O₅膜層（8）、第五M2膜層（9）、第五Ta₂O₅膜層（10）、第六M2膜層（11）、第六Ta₂O₅膜層（12）、第七M(jìn)2膜層（13）、第七Ta₂O₅膜層（14）、第八M2膜層（15）、第八Ta₂O₅膜層（16）、第九M2膜層（17）、第九Ta₂O₅膜層（18）、第十M2膜層（19）、第十Ta₂O₅膜層（20）、第十一M2膜層（21）、第十一Ta₂O₅膜層（22）、第十二M2膜層（23）、第十二Ta₂O₅膜層（24）、第十三M2膜層（25）、第十三Ta₂O₅膜層（26）、第十四M2膜層（27）、第十四Ta₂O₅膜層（28）、第十五M2膜層（29）、第十五Ta₂O₅膜層（30）、第十六M2膜層（31）、第十六Ta₂O₅膜層（32）、第十七M(jìn)2膜層（33）、第十七Ta₂O₅膜層（34）和第十八M2膜層（35）；

所述的第一M2膜層（1）的物理厚度為59.23～61.23nm，所述的第一Ta₂O₅膜層（2）的物理厚度為21.1～21.8nm，所述第二M2膜層（3）的物理厚度為111.65～113.5nm，所述第二Ta₂O₅膜層（4）的物理厚度為116.16～118.9nm，所述第三M2膜層（5）的物理厚度為19.67～20.5nm，所述第三Ta₂O₅膜層（6）的物理厚度為121.13～125.6nm，所述第四M2膜層（7）的物理厚度為34.31～36.1nm，所述第四Ta₂O₅膜層（8）的物理厚度為122.7～125.5nm，所述第五M2膜層（9）的物理厚度為30.13～31.2nm，所述第五Ta₂O₅膜層（10）的物理厚度為122.6～125.3nm，所述第六M2膜層（11）的物理厚度為33.04～34.6nm，所述第六Ta₂O₅膜層（12）的物理厚度為123.64～126.8nm，所述第七M(jìn)2膜層（13）的物理厚度為34.59～35.98nm，所述第七Ta₂O₅膜層（14）的物理厚度為121.31～124.3nm，所述第八M2膜層（15）的物理厚度為37.38～38.52nm，所述第八Ta₂O₅膜層（16）的物理厚度為120.92～123.8nm，所述第九M2膜層（17）的物理厚度為40.01～41.5nm，第九Ta₂O₅膜層（18）的物理厚度為120.01～122.8nm，所述第十M2膜層（19）的物理厚度為37.79～38.8nm，所述第十Ta₂O₅膜層（20）的物理厚度為121.41～123.41nm，所述第十一M2膜層（21）的物理厚度為37.26～38.26nm，所述第十一Ta₂O₅膜層（22）的物理厚度為120.4～123.4nm，所述第十二M2膜層（23）的物理厚度為38.08～39.08nm，所述第十二Ta₂O₅膜層（24）的物理厚度為121.92～123.9nm，所述第十三M2膜層（25）的物理厚度為35.03～36.5nm，所述第十三Ta₂O₅膜層（26）的物理厚度為120.45～123.45nm，所述第十四M2膜層（27）的物理厚度為26.02～27.16nm，所述第十四Ta₂O₅膜層（28）的物理厚度為103.8～105.8nm，所述第十五M2膜層（29）的物理厚度為111.38～113.56nm，所述第十五Ta₂O₅膜層（30）的物理厚度為208.35～212.8nm，所述第十六M2膜層（31）的物理厚度為137.69～139.99nm，所述第十六Ta₂O₅膜層（32）的物理厚度為24.05～25.15nm，所述第十七M(jìn)2膜層（33）的物理厚度為151.24～154.84nm，所述第十七Ta₂O₅膜層（34）的物理厚度為28.26～29.56nm，所述第十八M2膜層（35）的物理厚度為207.66～210.66nm。