[發(fā)明專利]一種石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010564592.5
• 申請日: 2020-06-19
• 公開（公告）號: CN111748112B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張柏華
• 申請（專利權(quán)）人: 遼寧格萊菲爾健康科技有限公司
• 主分類號: C08J5/18
• 分類號: C08J5/18;C08L7/02;C08K3/04
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)將純銅箔上CVD沉積的石墨烯膜進(jìn)行激光刻蝕成需要的電路；

(2)將激光刻蝕后貼附石墨烯膜的銅箔投入天然膠乳中蘸入提起、干燥；

(3)將載有石墨烯的銅箔電路放到刻蝕液中，靜態(tài)溶解掉銅箔后，從盛放刻蝕液的容器底部緩慢通入不溶于水的有機(jī)溶劑，形成厚度為5～30mm的有機(jī)相層托舉起透明的石墨烯電路膜；

(4)將刻蝕液體層從底部放掉，有機(jī)相層保留，再從容器底部充放置換清洗液，反復(fù)進(jìn)行置換清洗膜材；

(5)向容器通入天然膠乳，提起膜材干燥，形成石墨烯電路與膠乳的復(fù)合集成。

2.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(1)中，CVD沉積的石墨烯膜厚度為0.5～20μm。

3.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(2)中，蘸入提起→干燥過程反復(fù)進(jìn)行2～30次，天然膠乳層的厚度為5～50μm。

4.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(3)中，按質(zhì)量百分比計，銅箔刻蝕液的組分為：氯化鐵35％～50％，冰醋酸0.5～2％，氯化亞鐵0.1％～0.5％，磷酸氫二鈉0.5％～2％，過硫酸鈉1％～2％，乙醇15％～25％，余量為水。

5.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(3)中，有機(jī)溶劑為二甲苯、正丁醇、正己烷中一種或兩種以上的混合。

6.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(4)中，按質(zhì)量百分比計，置換清洗液的組分為：乙醇20％～40％，乙醚5％～20％，丙酮15％～40％，余量為水。

7.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，步驟(5)中，膜材蘸入提起→干燥過程反復(fù)進(jìn)行2～10次，天然膠乳層的厚度為5～50μm。

8.按照權(quán)利要求1所述的石墨烯高靈敏傳感電路與膠乳復(fù)合集成的方法，其特征在于，在將純銅箔上CVD沉積的石墨烯膜進(jìn)行激光刻蝕成需要的電路時，需要保留至少兩路端口用高分子膠封端預(yù)留做外引接口，該高分子膠耐刻蝕劑和有機(jī)相溶劑的腐蝕。