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[發明專利]復合型等離子體放電裝置及利用該裝置的廢氣處理方法在審

專利信息
申請號: 202010562087.7 申請日: 2020-06-18
公開(公告)號: CN113825294A 公開(公告)日: 2021-12-21
發明(設計)人: 唐詩雅;王世強;關銀霞;牟善軍;劉全楨;牟洪祥;李棲楠 申請(專利權)人: 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司青島安全工程研究院
主分類號: H05H1/26 分類號: H05H1/26;B01D53/32;H01J37/32
代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283 代理人: 劉兵;田宏
地址: 100728 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 復合型 等離子體 放電 裝置 利用 廢氣 處理 方法
【權利要求書】:

1.一種復合型等離子體放電裝置,其特征在于,該復合型等離子體放電裝置含有一個或多個等離子體放電反應器;

所述等離子體放電反應器包括等離子體反應管(4),與所述等離子體反應管(4)同軸設置的中心高壓電極(1),緊貼于等離子體反應管(4)外壁的接地電極(3)以及緊貼于等離子體反應管(4)的內壁的第二高壓電極(2)。

2.根據權利要求1所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體放電反應器的個數為2個,2個所述等離子體放電反應器之間串聯或并聯。

3.根據權利要求2所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體放電反應器的個數為3個或3個以上,多個所述等離子體放電反應器之間串聯和/或并聯。

4.根據權利要求1所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)為金屬線圈。

5.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈圍繞所述中心高壓電極(1)設置;

優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的內徑大于所述中心高壓電極(1)的外徑。

6.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的螺距為0.5-15mm;

優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的螺距為1-10mm。

7.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的直徑為0.05-3mm;

優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的直徑為0.1-2mm。

8.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,在25℃下,所述第二高壓電極(2)金屬線圈為電導率為105-108S/m的金屬;

優選地,金屬為耐高溫導電金屬。

9.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體反應管(4)為絕緣介質管;

優選地,所述絕緣介質為石英、陶瓷、剛玉或聚四氟乙烯。

10.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述中心高壓電極(1)為管狀或棒狀;

優選地,所述管狀中心高壓電極(1)為絕緣介質管,所述絕緣介質管內填充有導電金屬粉末;

優選地,所述絕緣介質管內具有導電金屬棒;

優選地,所述絕緣介質管內具有導電金屬管;

優選地,所述絕緣介質管的材質為石英、陶瓷、剛玉或聚四氟乙烯。

11.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,在25℃下,其中,所述中心高壓電極(1)為電導率為105-108S/m的金屬。

12.一種廢氣處理方法,其特征在于,所述處理方法采用權利要求1-11中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置。

13.根據權利要求12所述的廢氣處理方法,其中,所述中心高壓電極(1)的驅動電源與第二高壓電極(2)的驅動電源相同或不同。

14.根據權利要求13所述的廢氣處理方法,其中,所述中心高壓電極(1)或第二高壓電極(2)的驅動電源為直流、交流或者交直流復合電源。

15.根據權利要求14所述的廢氣處理方法,其中,所述交流電源的頻率為10Hz-10kHz,電壓峰值為0.1-50kV,電壓波形為正弦波、脈沖波、方波、三角波或鋸齒波;

優選地,所述直流電源極性為正或者負,電壓幅值為0.1-50kV。

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