[發明專利]復合型等離子體放電裝置及利用該裝置的廢氣處理方法在審
| 申請號: | 202010562087.7 | 申請日: | 2020-06-18 |
| 公開(公告)號: | CN113825294A | 公開(公告)日: | 2021-12-21 |
| 發明(設計)人: | 唐詩雅;王世強;關銀霞;牟善軍;劉全楨;牟洪祥;李棲楠 | 申請(專利權)人: | 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司青島安全工程研究院 |
| 主分類號: | H05H1/26 | 分類號: | H05H1/26;B01D53/32;H01J37/32 |
| 代理公司: | 北京潤平知識產權代理有限公司 11283 | 代理人: | 劉兵;田宏 |
| 地址: | 100728 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 復合型 等離子體 放電 裝置 利用 廢氣 處理 方法 | ||
1.一種復合型等離子體放電裝置,其特征在于,該復合型等離子體放電裝置含有一個或多個等離子體放電反應器;
所述等離子體放電反應器包括等離子體反應管(4),與所述等離子體反應管(4)同軸設置的中心高壓電極(1),緊貼于等離子體反應管(4)外壁的接地電極(3)以及緊貼于等離子體反應管(4)的內壁的第二高壓電極(2)。
2.根據權利要求1所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體放電反應器的個數為2個,2個所述等離子體放電反應器之間串聯或并聯。
3.根據權利要求2所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體放電反應器的個數為3個或3個以上,多個所述等離子體放電反應器之間串聯和/或并聯。
4.根據權利要求1所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)為金屬線圈。
5.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈圍繞所述中心高壓電極(1)設置;
優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的內徑大于所述中心高壓電極(1)的外徑。
6.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的螺距為0.5-15mm;
優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的螺距為1-10mm。
7.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的直徑為0.05-3mm;
優選地,所述第二高壓電極(2)金屬線圈的直徑為0.1-2mm。
8.根據權利要求4所述的復合型等離子體放電裝置,其中,在25℃下,所述第二高壓電極(2)金屬線圈為電導率為105-108S/m的金屬;
優選地,金屬為耐高溫導電金屬。
9.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述等離子體反應管(4)為絕緣介質管;
優選地,所述絕緣介質為石英、陶瓷、剛玉或聚四氟乙烯。
10.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,其中,所述中心高壓電極(1)為管狀或棒狀;
優選地,所述管狀中心高壓電極(1)為絕緣介質管,所述絕緣介質管內填充有導電金屬粉末;
優選地,所述絕緣介質管內具有導電金屬棒;
優選地,所述絕緣介質管內具有導電金屬管;
優選地,所述絕緣介質管的材質為石英、陶瓷、剛玉或聚四氟乙烯。
11.根據權利要求1-8中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置,在25℃下,其中,所述中心高壓電極(1)為電導率為105-108S/m的金屬。
12.一種廢氣處理方法,其特征在于,所述處理方法采用權利要求1-11中任意一項所述的復合型等離子體放電裝置。
13.根據權利要求12所述的廢氣處理方法,其中,所述中心高壓電極(1)的驅動電源與第二高壓電極(2)的驅動電源相同或不同。
14.根據權利要求13所述的廢氣處理方法,其中,所述中心高壓電極(1)或第二高壓電極(2)的驅動電源為直流、交流或者交直流復合電源。
15.根據權利要求14所述的廢氣處理方法,其中,所述交流電源的頻率為10Hz-10kHz,電壓峰值為0.1-50kV,電壓波形為正弦波、脈沖波、方波、三角波或鋸齒波;
優選地,所述直流電源極性為正或者負,電壓幅值為0.1-50kV。
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