[發明專利]密封元件的加工方法、密封元件及真空泵

在審

• 申請號: 202010561901.3
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111605107A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 丁印明;雷曉宏;魏民
• 申請（專利權）人: 北京通嘉鼎元科技有限公司
• 主分類號: B29C35/02
• 分類號: B29C35/02;B29C37/00;F04B39/00;F16J15/10
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 鄒秋爽

本發明提供了一種密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，其中，密封元件的加工方法，包括：通過平板模壓進行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步驟滿足：硫化溫度在170℃?180℃的范圍內，硫化時間在5min?20min的范圍內，硫化壓力在10Mpa?20Mpa的范圍內；去除密封元件毛坯的毛邊；清洗去除毛邊后的密封元件毛坯，得到清洗過的密封元件毛坯；清洗過的密封元件毛坯通過平板模壓進行二次硫化成型得到密封元件中間件；對密封元件中間件進行冷卻處理，以得到密封元件。本申請的技術方案有效地解決了相關技術中的O型圈在密封過程中，容易受到工作中氣體的侵蝕而快速老化的問題。

技術領域

本發明涉及真空源領域，具體而言，涉及一種密封元件的加工方法、密封元件及真空泵。

背景技術

現有的真空泵是泛半導體行業、化工行業、醫療醫藥行業所必需的真空源設備。由于使用行業的特殊性，因此對真空泵的密封性要求非常嚴格。通常在真空泵的定子或者泵體的連接處多使用O型圈進行密封。

但是在使用O型圈密封過程中，容易受到工作中氣體的侵蝕而快速老化，導致連接處泄露，影響設備的使用壽命。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種密封元件的加工方法、密封元件及真空泵，以解決相關技術中的O型圈在密封過程中，容易受到工作中氣體的侵蝕而快速老化的問題。

為了實現上述目的，根據本發明的一個方面，提供了一種密封元件的加工方法，包括：通過平板模壓進行一次硫化成型得到密封元件毛坯，一次硫化成型步驟滿足：硫化溫度在170℃-180℃的范圍內，硫化時間在5min-20min的范圍內，硫化壓力在10Mpa-20Mpa的范圍內；去除密封元件毛坯的毛邊；清洗去除毛邊后的密封元件毛坯，得到清洗過的密封元件毛坯；清洗過的密封元件毛坯通過平板模壓進行二次硫化成型得到密封元件中間件；對密封元件中間件進行冷卻處理，以得到密封元件。

進一步地，二次硫化成型步驟滿足：硫化溫度在200℃-260℃的范圍內，硫化時間在4h-24h的范圍內。

進一步地，對密封元件中間件進行冷卻處理的時間在1h-1.5h的范圍內。

進一步地，在得到密封元件步驟之后還包括：檢測密封元件是否合格，合格的密封元件滿足：密封元件的邵氏A硬度在75-80的范圍內，密封元件的外觀無缺膠、披風、氣泡、縮水、熔接痕、氣泡、條紋、翹曲、分層以及脫皮。

根據本發明的另一方面，提供了一種密封元件，密封元件根據上述的密封元件的加工方法得到，密封元件為密封圈，密封元件包括密封本體和設置在密封本體上的多個凸出部。

進一步地，密封元件的截面形狀為上下對稱結構或者左右對稱結構。

進一步地，密封本體的內表面和外表面均為弧形面，密封元件的材質為氟橡膠或者全氟橡膠或者三元乙丙橡膠。

進一步地，密封元件包括元件內部和元件外部，元件外部包裹在元件內部的外側，元件內部的材質為氟橡膠、全氟橡膠和三元乙丙橡膠中的任一種，元件外部的材質為氟橡膠、全氟橡膠和三元乙丙橡膠中的任一種，且元件內部的材質不同于元件外部的材質。

進一步地，密封元件包括第一部分和第二部分，第一部分和第二部分通過粘接或者焊接或者緊固件連接在一起；第一部分和第二部分的結構相同；第一部分的材質為氟橡膠、全氟橡膠和三元乙丙橡膠中的任一種，第二部分的材質為氟橡膠、全氟橡膠和三元乙丙橡膠中的任一種，且第一部分的材質不同于第二部分的材質。

根據本發明的另一方面，提供了一種真空泵，包括泵體組件，泵體組件包括定子主體、蓋設在定子主體上的蓋體以及位于定子主體和蓋體之間的密封元件，定子主體上設置有密封槽，密封元件位于密封槽內，密封元件為上述的密封元件。