[發明專利]轉子及其加工方法、泵體組件及其加工方法和真空泵

在審

• 申請號: 202010561857.6
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111644823A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 岳向成;孟永見;雷曉宏;魏民
• 申請（專利權）人: 北京通嘉鼎元科技有限公司
• 主分類號: B23P15/10
• 分類號: B23P15/10;B22D17/22;C21D1/18;C21D9/00;F04C18/12;F04C29/00
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 鄒秋爽

本發明提供了一種轉子及其加工方法、泵體組件及其加工方法和真空泵，其中，轉子的加工方法，依次包括以下步驟：對符合第一條件的轉子毛坯的第一加工面進行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；對符合第二條件的轉子毛坯的第二加工面進行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通過磨削的方式對轉子毛坯進行精加工，在精加工的過程中，使轉子毛坯的轉軸的圓跳動為0.012mm，表面光潔度為0.8μm，轉子毛坯的葉片相對于轉子毛坯的轉軸的垂直度為0.02mm；對轉子毛坯進行動平衡測量，篩選出符合動平衡標準的轉子毛坯，以得到轉子。本申請的技術方案有效地解決了相關技術中的由于組裝誤差，使得多級轉子磨損內腔的問題。

技術領域

本發明涉及真空源領域，具體而言，涉及一種轉子的轉子及其加工方法、泵體組件及其加工方法和真空泵。

背景技術

干泵是半導體行業必需的真空源設備。干泵中有一種多級蚌殼式真空泵，該真空泵包括上泵殼、下泵殼以及多級轉子，上泵殼和下泵殼之間能夠形成內腔，多級轉子可轉動地位于內腔內。多級轉子包括多個葉片和軸，多個葉片間隔地設置在軸上。在多個葉片安裝在軸上的過程中，由于組裝誤差，使得多級轉子在內腔內轉動時，多級轉子會磨損內腔，磨損嚴重后導致多級轉子報廢，不利于維修。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種轉子及其加工方法、泵體組件及其加工方法和真空泵，以解決相關技術中的由于組裝誤差，使得多級轉子磨損內腔的問題。

為了實現上述目的，根據本發明的一個方面，提供了一種轉子的加工方法，依次包括以下步驟：用砂模制成容納轉子毛坯的砂腔及砂芯，確定澆帽口的位置；通過壓力鑄造得到轉子毛坯，使轉子毛坯的表面留有4mm-5mm的加工余量；對轉子毛坯進行回火去應力處理，檢測轉子毛坯是否符合第一條件；對符合第一條件的轉子毛坯的第一加工面進行粗加工，使第一加工面留有2mm的加工余量；通過三坐標測量儀對轉子毛坯進行檢驗，通過內窺鏡對轉子毛坯的內部進行檢驗，并通過超聲探傷檢驗轉子毛坯的內部是否符合第二條件；對符合第二條件的轉子毛坯的第二加工面進行半精加工，使第二加工面留有0.2mm的加工余量；通過磨削的方式對轉子毛坯進行精加工，在精加工的過程中，使轉子毛坯的轉軸的圓跳動為0.012mm，表面光潔度為0.8μm，轉子毛坯的葉片相對于轉子毛坯的轉軸的垂直度為0.02mm；對轉子毛坯進行動平衡測量，篩選出符合動平衡標準的轉子毛坯，以得到轉子。

進一步地，在用砂模制成容納轉子毛坯的砂腔及砂芯，確定澆帽口的位置的步驟與通過壓力鑄造得到轉子毛坯的步驟之間，加工方法還包括向砂腔及砂芯內澆筑鐵水，澆筑鐵水的溫度在1340℃-1420℃的范圍內，澆筑鐵水的速度在0.005m³/s-0.002m³/s的范圍內。

根據本發明的另一方面，提供了一種轉子，轉子通過上述的轉子的加工方法得到，轉子包括轉軸和設置在轉軸上的多個葉片，多個葉片間隔地設置在轉軸上，轉子為兩個，兩個轉子嚙合傳動。

進一步地，轉軸與多個葉片為一體成型結構。

根據本發明的另一方面，提供了一種泵體組件，包括定子和轉子，定子包括定子主體，轉子設置在定子主體內，轉子為上述的轉子。

進一步地，定子還包括蓋體和底托，蓋體蓋設于定子主體的第一端面，底托位于定子主體的第二端面上，定子還包括間隔設置的多個隔板，每個隔板可拆卸地連接在定子主體內，多個隔板沿定子主體的軸線方向將定子主體的內腔分隔成多段；轉子的轉軸可轉動地穿設在蓋體和底托上，轉子的多個葉片位于內腔內。

進一步地，每個隔板位于轉子的轉軸的外側，并位于轉子的相鄰的兩個葉片之間，隔板包括板本體和間隔設置在板本體上的第一弧形凹部和第二弧形凹部。

進一步地，定子主體的內腔包括第一腔室和與第一腔室連通的第二腔室，兩個轉子的兩個轉軸分別可轉動地穿設于第一腔室和第二腔室，一個轉子的轉軸上的多個葉片位于第一腔室內，另一個轉子的轉軸上的多個葉片位于第二腔室內。