[發(fā)明專利]陰極絲固定絕緣加緊裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010560371.0
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111763916A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬永勝;黃濤;孫飛;劉佰奇;郭迪舟;何平;董海義
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院高能物理研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 石茵汀

本申請?zhí)岢隽艘环N陰極絲固定絕緣加緊裝置，用于對真空管進(jìn)行狹縫鍍膜，其中，裝置包括：陶瓷組件、彈簧、金屬固定件，陶瓷組件用于支撐陰極絲，彈簧固定在陶瓷組件底部，金屬固定件設(shè)置在彈簧上方，用于在彈簧彈力下固定陰極絲。由此，通過陶瓷組件支撐陰極絲，使得陰極絲保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金屬固定件在彈簧的彈力作用下與陰極絲有較大的摩擦力，保證陰極絲在垂直狀態(tài)時(shí)，陶瓷組件不至于滑落導(dǎo)致陰極絲偏離中心位置而引起短路，避免了真空管在安裝中容易出現(xiàn)彎曲等現(xiàn)象，陶瓷組件滑落或錯(cuò)位以引起陰極絲短路，還避免了對于6mm以下尺寸的狹縫真空管鍍膜時(shí)，出現(xiàn)陰極絲與真空管之間短路，影響對真空管進(jìn)行鍍膜的技術(shù)問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陰極絲固定絕緣加緊裝置。

背景技術(shù)

同步輻射光源逐漸向高亮度，低發(fā)射度發(fā)展，從而要求磁鐵孔徑盡可能小，這樣導(dǎo)致真空管尺寸非常小。此外，為了避免束流引起的同步輻射光直接照射在真空管的管壁，一般在真空管側(cè)面附加有光子通道。然而受到磁鐵空間限制，光子通道一般為高度較小的扁平狀矩形結(jié)構(gòu)。例如，第四代同步輻射光源的光子通道的高度只有6mm，另外，受到磁鐵體積的限制，單根真空管長度一般需要大于1米，這導(dǎo)致真空流導(dǎo)較小。傳統(tǒng)上采用離散式真空泵的方式無法獲得束流所需真空度，必須在真空管內(nèi)壁鍍一層0.5～2um的吸氣劑薄膜提供分布式抽氣的能力，以獲得更高的真空度。同時(shí)，相對于傳統(tǒng)不銹鋼、無氧銅、鋁材等材料，吸氣劑薄膜具有較低的光子解析系數(shù)，較低的電子解析系數(shù)，較低的二次電子發(fā)射系數(shù)，這些優(yōu)點(diǎn)使得束流引起的動(dòng)態(tài)氣載相對較低，對于正電荷粒子加速器還可以有效抑制電子云效應(yīng)。

對于尺寸較大的管道內(nèi)壁鍍膜，如大于10mm，一般通過一定方式將陰極絲固定在真空管的中心位置，采用直流磁控濺射方法在真空管內(nèi)壁鍍吸氣劑薄膜。但是，采用傳統(tǒng)陰極絲固定方式對6mm以下尺寸的狹縫真空管內(nèi)壁進(jìn)行鍍膜時(shí)，會(huì)出現(xiàn)陰極絲與真空管之間短路、陰極絲斷裂等影響繼續(xù)鍍膜的現(xiàn)象。另外，陰極絲直徑一般為1～2mm，真空管變形等，可能導(dǎo)致陰極絲與真空管的管壁之間的距離小于2.5mm，使得等離子體很難起輝放電或者均勻分布于真空盒內(nèi)部，從而最終導(dǎo)致無法成膜的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。

為此，本申請?zhí)岢鲆环N陰極絲固定絕緣加緊裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對于6mm以下尺寸的狹縫真空管進(jìn)行鍍膜時(shí)，出現(xiàn)陰極絲與真空管之間短路現(xiàn)象，從而影響對真空管進(jìn)行鍍膜的技術(shù)問題。

本申請?zhí)岢隽艘环N陰極絲固定絕緣加緊裝置，用于對真空管進(jìn)行狹縫鍍膜，包括：

陶瓷組件，所述陶瓷組件用于支撐陰極絲；

彈簧，所述彈簧固定在陶瓷組件底部；以及

金屬固定件，所述金屬固定件設(shè)置在所述彈簧上方，用于在所述彈簧的彈力作用下固定所述陰極絲。

可選地，所述金屬固定件為內(nèi)部中空的圓柱體。

可選地，所述金屬固定件的外徑為2mm。

可選地，所述彈簧的彈力為0.4至0.5N。

可選地，所述彈簧和所述金屬固定件均位于所述陶瓷組件內(nèi)部。

本申請實(shí)施例的陰極絲固定絕緣加緊裝置，應(yīng)用于對真空管進(jìn)行狹縫鍍膜，包括陶瓷組件、彈簧、金屬固定件，陶瓷組件用于支撐陰極絲，彈簧固定在陶瓷組件底部，金屬固定件設(shè)置在彈簧上方，用于在彈簧的彈力作用下固定陰極絲。由此，通過陶瓷組件支撐陰極絲，使得陰極絲盡量保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金屬固定件在彈簧的彈力作用下與陰極絲有較大的摩擦力，保證陰極絲在垂直狀態(tài)時(shí)，陶瓷組件不至于滑落導(dǎo)致陰極絲偏離中心位置而引起短路，不僅避免了真空管在安裝中容易出現(xiàn)彎曲等現(xiàn)象，陶瓷組件滑落或錯(cuò)位以引起陰極絲短路，還避免了對于6mm以下尺寸的狹縫真空管進(jìn)行鍍膜時(shí)，出現(xiàn)陰極絲與真空管之間短路現(xiàn)象，影響對真空管進(jìn)行鍍膜的技術(shù)問題。