[發(fā)明專利]有機(jī)發(fā)光二極管顯示器及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010559023.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-18
• 公開（公告）號(hào): CN112117305A
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文相皓;柳春基;金兌坤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/32
• 分類號(hào): H01L27/32
• 代理公司: 北京鉦霖知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11722
• 代理人: 李英艷;馮志云

本公開涉及一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器及其制造方法，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器包括：基底；半導(dǎo)體層，設(shè)置在基底上；第一絕緣層，其覆蓋半導(dǎo)體層；第一導(dǎo)電層，設(shè)置在第一絕緣層上；第二絕緣層，其覆蓋第一導(dǎo)電層；第二導(dǎo)電層，設(shè)置在第二絕緣層上；第三絕緣層，其覆蓋第二導(dǎo)電層；第三導(dǎo)電層，設(shè)置在第三絕緣層上；第一有機(jī)層，其覆蓋第三導(dǎo)電層；和第四導(dǎo)電層，設(shè)置在第一有機(jī)層上，其中，第四導(dǎo)電層包括下層、中間層和上層，并且下層設(shè)置在第一有機(jī)層和中間層之間，并包括透明導(dǎo)電氧化膜。

本申請(qǐng)要求于2019年6月19日在韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2019-0072844號(hào)韓國專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)以及從中產(chǎn)生的所有權(quán)益，所述韓國專利申請(qǐng)的全部內(nèi)容通過引用包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開的示例性實(shí)施例涉及有機(jī)發(fā)光二極管顯示器及其制造方法，并尤其涉及包括多層電極的有機(jī)發(fā)光二極管顯示器及其制造方法。

背景技術(shù)

顯示裝置顯示圖像，而且，最近有機(jī)發(fā)光二極管顯示器受到高度關(guān)注。

有機(jī)發(fā)光二極管顯示器具有自發(fā)射特性，并且與液晶顯示裝置不同，其不需要另外的光源，從而減小了其厚度和重量。此外，有機(jī)發(fā)光二極管顯示器具有諸如低功耗、高亮度和高反應(yīng)速度的高質(zhì)量特性。

發(fā)明內(nèi)容

有機(jī)發(fā)光二極管顯示器具有比液晶顯示裝置更復(fù)雜的像素配置，并且通過使用多個(gè)掩模形成電極。在這種情況下，當(dāng)電極形成在有機(jī)層上時(shí)，由于在干蝕刻工藝中與蝕刻氣體反應(yīng)而產(chǎn)生的有機(jī)層的顆粒，基底可能被污染并且良率可能變差。

本公開的示例性實(shí)施例致力于提供一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器及其制造方法，所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器用于防止當(dāng)在有機(jī)層上形成電極時(shí)在干蝕刻工藝中有機(jī)層的暴露部分與蝕刻氣體反應(yīng)并產(chǎn)生顆粒。

本公開的示例性實(shí)施例提供了一種有機(jī)發(fā)光二極管顯示器，所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器包括：基底；半導(dǎo)體層，設(shè)置在所述基底上；第一絕緣層，其覆蓋所述半導(dǎo)體層；第一導(dǎo)電層，設(shè)置在所述第一絕緣層上；第二絕緣層，其覆蓋所述第一導(dǎo)電層；第二導(dǎo)電層，設(shè)置在所述第二絕緣層上；第三絕緣層，其覆蓋所述第二導(dǎo)電層；第三導(dǎo)電層，設(shè)置在所述第三絕緣層上；第一有機(jī)層，其覆蓋所述第三導(dǎo)電層；和第四導(dǎo)電層，設(shè)置在所述第一有機(jī)層上，其中，所述第四導(dǎo)電層包括下層、中間層和上層，并且所述下層設(shè)置在所述第一有機(jī)層和所述中間層之間，并包含透明導(dǎo)電氧化膜。

在示例性實(shí)施例中，所述透明導(dǎo)電氧化膜可以包括氧化銦錫(“ITO”)、氧化銦鋅(“IZO”)、氧化銦鎵鋅(“IGZO”)和氧化銦錫鋅(“ITZO”)中的至少一個(gè)。

在示例性實(shí)施例中，所述中間層可以包括鋁(Al)，并且所述上層可以包括鈦(Ti)。

在示例性實(shí)施例中，所述中間層或所述上層還可以包括包含氮化鈦(TiN)的層。

在示例性實(shí)施例中，所述中間層可以包括在所述鋁和所述下層之間的包含氮化鈦的層，并且所述上層還可以包括在所述鈦上的包含氮化鈦的層。

在示例性實(shí)施例中，所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器還可以包括：第二有機(jī)層，其覆蓋第四導(dǎo)電層；以及陽極，設(shè)置在第二有機(jī)層上。

在示例性實(shí)施例中，所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器還可以包括設(shè)置在所述基底上的驅(qū)動(dòng)晶體管，其中，所述驅(qū)動(dòng)晶體管可以包括：第一半導(dǎo)體，設(shè)置在與所述半導(dǎo)體層相同的層中，并且包括溝道區(qū)、源極區(qū)和漏極區(qū)；驅(qū)動(dòng)?xùn)艠O電極，設(shè)置在與所述第一導(dǎo)電層相同的層中；以及連接到所述第一半導(dǎo)體的所述源極區(qū)的源極電極和連接到所述漏極區(qū)的漏極電極。

在示例性實(shí)施例中，所述有機(jī)發(fā)光二極管顯示器還可以包括：第二薄膜晶體管，用于將數(shù)據(jù)電壓傳輸至所述驅(qū)動(dòng)晶體管的源極電極；和第三薄膜晶體管，用于初始化所述驅(qū)動(dòng)晶體管的漏極電極。