[發明專利]陀螺儀和電子設備

有效

• 申請號: 202010557102.9
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN113899353B
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發明（設計）人: 裘安萍;施芹;胡啟方;趙陽;夏國明
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司;南京理工大學
• 主分類號: G01C19/5607
• 分類號: G01C19/5607
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 文小莉;臧建明

1.一種陀螺儀，其特征在于，包括：襯底、第一外框架以及分別與所述第一外框架相連的驅動結構和檢測結構；

所述驅動結構位于所述第一外框架內，所述驅動結構包括相對于所述第一外框架的中心軸對稱的兩部分，所述檢測結構包括位于所述第一外框架兩側的兩部分；所述驅動結構和所述檢測結構均與所述襯底相連；

所述檢測結構位于所述第一外框架兩側的兩部分中的每一部分均包括至少一個子檢測結構，每個所述子檢測結構包括：檢測電極和第二外框架；所述第二外框架與所述第一外框架固定連接；

所述檢測電極上具有多個固定檢測梳齒，所述第二外框架的內邊緣具有多個活動檢測梳齒，多個所述固定檢測梳齒背離所述檢測電極的一端和多個所述活動檢測梳齒背離所述第二外框架的內邊緣的一端懸空，以使多個所述固定檢測梳齒和多個所述活動檢測梳齒相互交錯形成檢測電容。

2.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，所述檢測結構沿著第一方向位于所述第一外框架的兩側，所述第一方向與所述中心軸的延伸方向垂直；或者，

所述檢測結構沿著第二方向位于所述第一外框架的兩側，所述第二方向與所述中心軸的延伸方向平行。

3.根據權利要求2所述的陀螺儀，其特征在于，所述檢測電極的一端與所述襯底電連接，所述檢測電極的另一端懸空。

4.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，多個所述固定檢測梳齒和多個所述活動檢測梳齒均間隔排布。

5.根據權利要求1-4任一項所述的陀螺儀，其特征在于，所述檢測電極包括：主檢測電極和多個支檢測電極，多個所述支檢測電極分別位于所述主檢測電極的兩側，所述主檢測電極的一端與所述襯底相連，所述主檢測電極的另一端懸空；

每個所述支檢測電極的一端與所述主檢測電極電連接，每個所述支檢測電極的另一端靠近所述第二外框架的內邊緣；

且多個所述固定檢測梳齒位于所述支檢測電極上。

6.根據權利要求5所述的陀螺儀，其特征在于，所述第二外框架上具有多個朝向所述主檢測電極延伸的延伸部，所述延伸部的延伸方向與所述支檢測電極平行；所述延伸部的一端與所述第二外框架相連，所述延伸部的另一端靠近所述主檢測電極；

且多個所述活動檢測梳齒位于所述延伸部上。

7.根據權利要求1-4、6任一所述的陀螺儀，其特征在于，每個所述子檢測結構還包括：反饋電極，所述反饋電極的一端與所述襯底電連接，所述反饋電極的另一端懸空。

8.根據權利要求7所述的陀螺儀，其特征在于，所述反饋電極上還具有多個固定反饋梳齒，所述第二外框架的內邊緣還具有多個活動反饋梳齒；多個所述固定反饋梳齒背離所述反饋電極的一端和多個所述活動反饋梳齒背離所述第二外框架的內邊緣的一端懸空，以使多個所述固定反饋梳齒和多個所述活動反饋梳齒相互交錯形成反饋電容。

9.根據權利要求8所述的陀螺儀，其特征在于，多個所述活動反饋梳齒和多個所述固定反饋梳齒的排布方向與多個所述活動檢測梳齒或多個所述固定檢測梳齒的排布方向相同。

10.根據權利要求8-9任一所述的陀螺儀，其特征在于，位于所述第一外框架兩側的兩個所述子檢測結構中的所述反饋電容接入的反饋信號的極性相反；

位于所述第一外框架同側的相鄰兩個所述子檢測結構中的所述反饋電容接入的反饋信號的極性相反。

11.根據權利要求1-4、6、8-9任一所述的陀螺儀，其特征在于，所述驅動結構位于所述第一外框架內且相對所述第一外框架的中心軸對稱設置，所述驅動結構與所述中心軸平行的外邊緣與所述第一外框架的內邊緣部分相連。

12.根據權利要求1-4、6、8-9任一所述的陀螺儀，其特征在于，所述驅動結構的部分外邊緣通過驅動梁與所述第一外框架的內邊緣相連。