[發明專利]一種阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法

有效

• 申請號: 202010556547.5
• 申請日: 2020-06-18
• 公開（公告）號: CN111637859B
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發明（設計）人: 謝軍;杜凱;高莎莎;王紅蓮;易泰民;蔣柏斌;楊洪;鄭鳳成;何智兵;張海軍;魏勝;袁光輝;童維超;梁櫸曦;張藎月;任瑋
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08;G21B1/19
• 代理公司: 中國工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 劉璐;馮玲玲

1.一種阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：

步驟(1)：在標準材料臺階表面右側確定基準點T1；

步驟(2)：采用白光干涉儀提取標準材料臺階的有效區域A；

步驟(3)：在待測材料薄膜表面右側確定基準點T2；

步驟(4)：采用白光干涉儀提取待測材料薄膜的有效區域B；

步驟(5)：將待測材料薄膜的有效區域B裝配至標準材料臺階的有效區域A內；

步驟(6)：將有效區域A與有效區域B的重合區域作為激光作用有效區域C；其中，所述的步驟(6)具體為，待測材料薄膜裝配到標準材料臺階上后，激光有效作用區域C為待測材料有效區域B垂直于標準材料臺階邊界線一直延伸至標準材料臺階有效區域A的邊界為止的區域。

2.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，所述的步驟(1)、步驟(3)中基準點的確定方法具體為，在標準材料臺階表面、待測材料薄膜表面分別粘接金屬薄膜作為標記片，在各標記片上分別取任意一點作為基準點T1、T2。

3.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，所述的步驟(1)、步驟(3)中基準點的確定方法具體為，在標準材料臺階表面、待測材料薄膜表面采用飛秒激光在樣品表面加工一定大小的圓點，分別作為基準點T1、T2。

4.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，步驟(2)所述的標準材料臺階的有效區域A的提取方法具體為，采用白光干涉儀測量標準材料臺階表面輪廓，以基準點T1為起點，選取一定距離D，采用白光干涉儀分析標準材料臺階的表面輪廓，每間隔距離ΔD，提取n條材料厚度一致的輪廓曲線，并在各條輪廓曲線上選取長度為L1的有效區段，構成長為L1、寬為ΔD×(n-1)的標準材料臺階有效區域A。

5.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，步驟(4)所述的待測材料薄膜的有效區域B的提取方法具體為，采用白光干涉儀測量待測材料薄膜表面輪廓，以基準點T2為起點，選取一定距離d，采用白光干涉儀分析待測材料薄膜的表面輪廓，每間隔距離Δd，提取m條材料厚度一致的輪廓曲線，并在所述的m條輪廓曲線上選取長度為L2的有效區段，構成長為L2、寬為Δd×(m-1)的待測材料有效區域B。

6.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，所述的步驟(5)具體為，當D小于d，阻抗匹配靶裝配方法為：將標準材料臺階置于顯微鏡視場內，待測材料薄膜的基準點T2位于標準材料基準點T1右側，將待測材料薄膜放置于其基準點T2距標準材料臺階的基準點T1距離為小于等于(d-D)、大于等于(d-D)-ΔD×(n-1)+Δd×(m-1)的位置處，同時保證待測材料薄膜與標準材料臺階樣品的臺階邊界線距離為H。

7.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，所述的步驟(5)具體為，當D大于d，阻抗匹配靶裝配方法為：將標準材料置于顯微鏡視場內，待測材料的基準點T2位于標準材料基準點T1左側，將待測材料放置于其基準點T2距標準材料的基準點T1距離為大于等于(D-d)，小于等于(D-d)+ΔD×(n-1)-Δd×(m-1)的位置處，同時保證待測材料與標準材料臺階的臺階邊界線距離為H。

8.根據權利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效區域的確定方法，其特征在于，所述的步驟(6)中，阻抗匹配靶的激光作用有效區域C為長L3，寬為Δd×(m-1)。