[發(fā)明專利]缺陷分析方法及裝置、電子裝置及計算機可讀存儲介質(zhì)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010555966.7
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN113804244A
• 公開（公告）日: 2021-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳怡如;艾雪芳;林尚毅;薛凱薰
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密電子（天津）有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 孫芬

一種缺陷分析方法，所述缺陷分析方法包括：獲取各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息；獲取各制程站點各機臺的生產(chǎn)因子信息；獲取各缺陷檢測站點所檢測的產(chǎn)品的缺陷信息，所述產(chǎn)品在經(jīng)過至少一個制程站點后經(jīng)過所述缺陷檢測站點；根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定問題制程站點的問題機臺；根據(jù)所述各機臺的生產(chǎn)因子信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定影響問題機臺的生產(chǎn)因子。本案還提供一種缺陷分析裝置、一種電子裝置及一種計算機可讀存儲介質(zhì)，可提高分析的效率及準確度，且可確定影響問題機臺的生產(chǎn)因子。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及缺陷分析技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種缺陷分析方法及裝置、電子裝置及計算機可讀存儲介質(zhì)。

背景技術(shù)

目前，在半導(dǎo)體制造業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)制造場景中，原料或半成品在制造過程中會經(jīng)過很多制程站點。每個制程站點可能有多臺機臺負責(zé)各自的制程。原料或半成品因產(chǎn)品類別、參數(shù)不同可能會經(jīng)過不同或相同的站點和/或機臺，并通過各階段的缺陷檢測站點檢驗產(chǎn)品的缺陷信息。為了提高產(chǎn)品的良率，通常會統(tǒng)計產(chǎn)品的相關(guān)信息來進行人工的分析，以確定問題站點及問題機臺。但是由于為人工分析，分析的效率較低，且準確度主要依賴于分析員工的水平。此外，現(xiàn)有的分析方法無法確定影響問題機臺的生產(chǎn)因子。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于此，有必要提供一種缺陷分析方法及裝置、電子裝置及計算機可讀存儲介質(zhì)，可提高分析的效率及準確度，且可確定影響問題機臺的生產(chǎn)因子。

本申請的第一方面提供一種缺陷分析方法，所述缺陷分析方法包括：

獲取各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息；

獲取各制程站點各機臺的生產(chǎn)因子信息；

獲取各缺陷檢測站點所檢測的產(chǎn)品的缺陷信息，所述產(chǎn)品在經(jīng)過至少一個制程站點后經(jīng)過所述缺陷檢測站點；

根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定問題制程站點的問題機臺；

根據(jù)所述各機臺的生產(chǎn)因子信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定影響問題機臺的生產(chǎn)因子。

較佳地，所述根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定問題制程站點的問題機臺包括：

根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定預(yù)設(shè)組合的瑕疵現(xiàn)象集中程度，所述預(yù)設(shè)組合為制程站點和機臺的組合；

根據(jù)所述預(yù)設(shè)組合的瑕疵現(xiàn)象集中程度確定所述問題制程站點的問題機臺。

較佳地，所述根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定預(yù)設(shè)組合的瑕疵現(xiàn)象集中程度包括：

根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息確定各預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品的產(chǎn)量在所有預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品的總產(chǎn)量中所占的比重a1；

根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定各預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品中有缺陷的產(chǎn)量在各預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品的產(chǎn)量中所占的比重a2；

根據(jù)所述各制程站點各機臺所經(jīng)過的產(chǎn)品的基本信息及所述產(chǎn)品的缺陷信息確定a2與所有預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品中有缺陷的總產(chǎn)量在所有預(yù)設(shè)組合所經(jīng)過的產(chǎn)品的總產(chǎn)量中所占的比重a3的比值a4；

根據(jù)所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4確定所述預(yù)設(shè)組合的瑕疵現(xiàn)象集中程度。

較佳地，所述根據(jù)所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4確定所述預(yù)設(shè)組合的瑕疵現(xiàn)象集中程度包括：

計算以所述比重a1、所述比重a2及所述比值a4作為參數(shù)的預(yù)設(shè)函數(shù)的值；