[發明專利]一種新型寬幅等離子表面處理裝置

在審

• 申請號: 202010555233.3
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN111669886A
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 劉善石
• 申請（專利權）人: 昆山索坤萊機電科技有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：包括封閉的箱體(1)和工作臺(2)，所述箱體(1)自上向下依次分為進氣區(3)、電離區(4)和出氣區(5)，所述進氣區(3)上設有工作氣體進氣孔(6)，進氣區(3)內設置混氣腔(7)，所述電離區(4)中間設有電極(8)，電極(8)設置于箱體(1)中間的電極腔(9)內，電極(8)的一端連接外部高壓電源裝置，所述電極(8)為一橫向放置的長電極，其外部包覆一陶瓷絕緣件(10)，所述電極腔(9)和電極(8)之間設有供工作氣體流通的間隙，電極腔(9)上端設有進氣通道(11)連接進氣區的混氣腔(7)，電極腔(9)下端設有等離子通道連接出氣區(5)，所述出氣區(5)口設有與等離子通道連接的等離子出口(12)。

2.根據權利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述電極(8)由兩條橫截面呈半圓形的長電極組合而成，兩條長電極之間設有彈簧，彈簧兩端抵緊兩條長電極，使得長電極與陶瓷絕緣件(10)緊密配合，能保證電極和陶瓷的充分接觸。

3.根據權利要求2所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述每個長電極上設有若干通氣孔(13)用于冷卻電極。

4.根據權利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述電極(8)中間呈中空設置，進一步提高冷卻效果。

5.根據權利要求1所述的一種新型寬幅等離子表面處理裝置，其特征在于：所述箱體(1)的下部和工作臺(2)的下部設置長條排氣孔，長條排氣孔外接抽風機。