[發明專利]一種納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬

在審

• 申請號: 202010553498.X
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN111770624A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 王慶文;孫偉民;王磊;王永錦;王建軍;徐紀法;杜偉峰;樊榮
• 申請（專利權）人: 河南能微新材料科技股份有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;B82Y40/00
• 代理公司: 鄭州中科鼎佳專利代理事務所(特殊普通合伙) 41151
• 代理人: 蔡佳寧

1.一種納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，包含豎直設置的等離子炬本體和空氣制備吹送設備；所述等離子炬本體包含從內到外同軸并間隙套設的送粉管（1）、內層管（2）、中間管（3）、外層管（4）和用于電離惰性氣體產生等離子體的感應線圈（6），所述外層管（4）上下端外側分別套設有上密封環座（10）和下密封環座（13），所述上密封環座（10）和下密封環座（13）均與外層管（4）之間設有用于密封的第一密封圈（12），其特征在于：所述感應線圈（6）外側有間隙的套設有筒形的送風玻璃罩（5），所述送風玻璃罩（5）的底端敞口，送風玻璃罩（5）的頂端與上密封環座（10）的底端密封固定，所述上密封環座（10）外側壁均勻環設有多個連通至送風玻璃罩（5）內腔的送風口（14）；所述空氣制備吹送設備包含氣體分布器（7）、風機（8）和用于制備潮濕空氣的加濕器（9），所述加濕器（9）的空氣出口與風機（8）的進口連接，所述風機（8）的出口與氣體分布器（7）的總進口連接，所述氣體分布器（7）對應送風口（14）設有多個支路出口，所述支路出口與相應送風口通過軟管連通；靠近下密封環座（13）的中間管和外層管之間設有用于阻擋等離子火焰光的擋焰環套（11）。

2.根據權利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述上密封環座（10）的底端面設有適配送風玻璃罩（5）頂端插入的凹槽，所述凹槽內壁與送風玻璃罩（5）外壁之間設有第二密封圈（15），所述送風玻璃罩（5）頂端外側套設有與上密封環座（10）外端面可拆卸固定連接，并用于壓緊第二密封圈（15）的密封壓板（16）。

3.根據權利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述送風玻璃罩（5）外壁沿其軸向設有多排對應于感應線圈（6）的通孔，每排通孔數量設為若干并沿送風玻璃罩（5）周向均勻分布。

4.根據權利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述送風玻璃罩（5）內壁與感應線圈（6）的外壁間距小于30mm。

5.根據權利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述下密封環座（13）下端面中央設有用于中間管（3）穿過的臺階孔，所述擋焰環套（11）與中間管（3）之間留有間隙，所述擋焰環套（11）的下端向外直角延伸設有適配臺階孔沉孔的圓環，所述擋焰環套（11）的上端穿過臺階孔通孔并高于位于下密封環座（13）的第一密封圈（12）；所述臺階孔的外緣面可拆卸固定連接有用于壓緊固定擋焰環套（11）的環形壓板（18），所述環形壓板（18）與中間管（3）之間留有間隙。

6.根據權利要求5所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述擋焰環套（11）分別與外層管（4）和臺階孔通孔之間均留有間隙，所述擋焰環套（11）的圓環上設有豎直的通氣孔（17），所述臺階孔的臺階面下沉設有用于連通通氣孔（17）和外層管內腔的斜角，所述環形壓板（18）與通氣孔（17）外側的圓環表面對應抵觸。

7.根據權利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述加濕器包含緩沖管（902）、加熱水箱（907）和控制柜；所述加熱水箱（907）側壁安裝有電加熱裝置（908）、液位計和水溫檢測裝置，所述加熱水箱（907）的底部設有排水管，所述排水管上安裝有排水閥，所述加熱水箱（907）的頂部設有進水管、蒸汽出管和泄壓管，所述進水管、蒸汽出管和泄壓管上分別安裝有電磁閥、第一電動調節閥（906）和開關閥；所述緩沖管（902）的兩端分別設有空氣進管和空氣出管，所述空氣進管上安裝有第二電動調節閥（901）；所述緩沖管（902）靠近進風管一端的管壁通過蒸汽出管與加熱水箱（907）連通，所述緩沖管（902）的中部管壁設有用于為緩沖管（902）內空氣降溫的冷卻裝置（903），所述緩沖管（902）的另一端管壁安裝有第一溫度探測器（904）和第一濕度探測器（905）；所述電加熱裝置（908）、液位計、水溫檢測裝置、電磁閥、第一電動調節閥（906）、第二電動調節閥（901）、第一溫度探測器（904）、第一濕度探測器（905）分別與控制柜信號連接。