[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010553455.1
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN113359205A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃善伍
• 申請（專利權(quán)）人: 考姆愛斯株式會社
• 主分類號: G01V8/10
• 分類號: G01V8/10
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，包括：

發(fā)光裝置(10)，所述發(fā)光裝置(10)朝向基板(T)正向照射光；

第一偏光子(20)，所述第一偏光子(20)位于發(fā)光裝置(10)的前方，使發(fā)光裝置(10)生成的光變換成線偏光，入射到基板(T)方向；

第二偏光子(30)，所述第二偏光子(30)與第一偏光子(20)具有直交性，位于基板(T)與受光傳感器(50)之間，使被基板(T)反射的第一反射光變換成第二反射光，穿過受光傳感器(50)方向；

受光傳感器(50)，所述受光傳感器(50)接受穿過第二偏光子(30)的光，生成光相關(guān)電信號并傳輸給控制部(60)；

控制部(60)，所述控制部(60)以從受光傳感器(50)傳輸?shù)墓庀嚓P(guān)電信號或光強(qiáng)度值為基礎(chǔ)，判斷基板(T)表面是否殘留有膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，所述第一偏光子(20)和/或第二偏光子(30)以基板(T)為基準(zhǔn)進(jìn)行相對旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，所述控制部(60)以因第一偏光子(20)或第二偏光子(30)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而發(fā)生的光強(qiáng)度周期變動(dòng)性的程度為基準(zhǔn)，判斷膜是否殘留。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，所述控制部(60)將實(shí)時(shí)測量的既定時(shí)間區(qū)間內(nèi)發(fā)生的光強(qiáng)度的變動(dòng)性測量值，與在無殘留膜的區(qū)域預(yù)先測量的光強(qiáng)度的變動(dòng)性基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，當(dāng)變動(dòng)性測量值比變動(dòng)性基準(zhǔn)值大既定值以上時(shí)，判斷為在檢查區(qū)域存留有膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，所述發(fā)光裝置(10)為LED，在前方還配備有聚光透鏡(15)。

6.一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，包括：

發(fā)光裝置(310)，所述發(fā)光裝置(310)使第一光發(fā)光前進(jìn)；

偏光子(320)，所述偏光子(320)隔開位于發(fā)光裝置(310)的前方，使正向前進(jìn)的發(fā)光裝置(310)的光變換成第二線偏光；

1/4λ波片(330)，所述1/4λ波片(330)鄰接位于第一偏光子(20)的前方，使正向穿過的第二線偏光變換成圓偏光或橢圓偏光；

受光傳感器(350)，所述受光傳感器(350)接受基板(T)即判斷膜是否附著的檢查對象的表面反射后逆向依次穿過1/4λ波片(330)和偏光子(320)的光，生成為光相關(guān)電信號并傳輸給控制部(360)；

控制部(360)，所述控制部(360)利用從受光傳感器(350)傳輸?shù)墓庀嚓P(guān)電信號，算出光強(qiáng)度值，利用算出的光強(qiáng)度值來判斷在基板表面是否有膜附著。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視裝置，其特征在于，所述偏光子(320)和/或1/4λ波片(330)以基板(T)為基準(zhǔn)觀察時(shí)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)；

所述控制部(360)在有膜殘留時(shí)，評價(jià)因旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)而發(fā)生的光強(qiáng)度(振幅)的周期變動(dòng)性或光強(qiáng)度值的變動(dòng)特性，判斷膜是否殘留。

8.一種半導(dǎo)體基板用保護(hù)膜是否剝離監(jiān)視方法，其特征在于，包括以下步驟：

S100，濾光器準(zhǔn)備步驟，準(zhǔn)備針對等向性物質(zhì)和非等向性物質(zhì)具有不同透光特性的且包括偏光子的濾光器裝置；

S200，照光步驟，所述發(fā)光裝置(10)朝向基板(T)正向照射光；

S300，濾光器旋轉(zhuǎn)步驟，在所述濾光器裝置位于發(fā)光裝置(10)與基板(T)之間的狀態(tài)下，所述旋轉(zhuǎn)裝置(70)使濾光器裝置旋轉(zhuǎn)；

S400，反射光感知步驟，所述受光傳感器(50)接受被基板(T)反射的反射光，生成關(guān)于光強(qiáng)度的電信號；

S500，膜是否殘留判斷步驟，所述控制部(60)以從受光傳感器(50)傳輸?shù)墓庀嚓P(guān)電信號為基礎(chǔ)，判斷在基板(T)表面是否有膜殘留。