[發明專利]光檢測器件及電子裝置

在審

• 申請號: 202010552753.9
• 申請日: 2014-06-20
• 公開（公告）號: CN111799288A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 桝田佳明;宮波勇樹;阿部秀司;平野智之;山口征也;蛯子芳樹;渡邊一史;荻田知治
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146;H01L31/0203;H01L31/0232;H01L31/10;H04N5/225;H04N5/359;H04N5/369;H04N5/374;H04N9/04;G02B1/118
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李晗;曹正建

1.一種光檢測器件，其包括：

半導體基板，所述半導體基板的光接收表面包含第一蛾眼結構和第二蛾眼結構；

第一光電轉換區域，所述第一光電轉換區域位于所述半導體基板中；

第二光電轉換區域，所述第二光電轉換區域位于所述半導體基板中，且所述第二光電轉換區域鄰近所述第一光電轉換區域；

溝槽，所述溝槽布置在所述第一光電轉換區域和所述第二光電轉換區域之間；

第一濾色器，所述第一濾色器布置在所述第一蛾眼結構上方；和

第二濾色器，所述第二濾色器布置在所述第二蛾眼結構上方，

其中，所述第一光電轉換區域構造為接收穿過所述第一濾色器和所述第一蛾眼結構的第一光，且所述第二光電轉換區域構造為接收穿過所述第二濾色器和所述第二蛾眼結構的第二光，

其中，所述第一濾色器的峰值光譜靈敏度不同于所述第二濾色器的峰值光譜靈敏度，且

其中，所述第一蛾眼結構與所述第二蛾眼結構具有相同形狀。

2.如權利要求1所述的光檢測器件，其中，所述第一蛾眼結構包含多個第一凹入部，且所述第二蛾眼結構包含多個第二凹入部。

3.如權利要求2所述的光檢測器件，其中，所述第一蛾眼結構中所述第一凹入部的數量等于所述第二蛾眼結構中所述第二凹入部的數量。

4.如權利要求2所述的光檢測器件，其中，所述第一蛾眼結構中相鄰的所述第一凹入部之間的間距等于所述第二蛾眼結構中相鄰的所述第二凹入部之間的間距。

5.如權利要求2所述的光檢測器件，其中，在剖面圖中，在深度方向上，所述第一蛾眼結構中所述第一凹入部的深度與所述第二蛾眼結構中所述第二凹入部的深度相同。

6.如權利要求1所述的光檢測器件，其中，所述溝槽中填充有絕緣材料。

7.如權利要求6所述的光檢測器件，其中，在所述絕緣材料中填充有遮光材料。

8.如權利要求1所述的光檢測器件，其中，在所述第一光電轉換區域和所述第二光電轉換區域之間的沒有形成所述第一蛾眼結構和所述第二蛾眼結構的部分中形成有平坦部。

9.如權利要求8所述的光檢測器件，其中，在所述平坦部上形成有遮光膜。

10.一種包括如權利要求1-9中任一項所述的光檢測器件的電子裝置。