[發明專利]液滴釋放裝置

在審

• 申請號: 202010552402.8
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN112138896A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 三根陽介
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B41J2/01
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

本發明提供一種液滴釋放裝置。實施方式的液滴釋放裝置包括輸送機構、釋放頭、第1介質輸送部、第2介質輸送部和攝像部。輸送機構沿輸送方向輸送工件。釋放頭對工件釋放功能液的液滴。第1介質輸送部在與輸送方向正交的方向上輸送能夠接收從釋放頭釋放的檢查用的液滴的第1檢查用介質。第2介質輸送部在正交的方向上輸送第2檢查用介質，該第2檢查用介質能夠接收從釋放頭釋放的檢查用的液滴，并與第1檢查用介質在輸送方向上并排配置。攝像部拍攝釋放到第1檢查用介質的液滴和釋放到第2檢查用介質的液滴。本發明能夠高效地進行液滴的釋放狀態的調整。

技術領域

本發明涉及一種液滴釋放裝置。

背景技術

專利文獻1公開了一種技術，其對檢查薄膜釋放功能液的液滴，通過檢查攝像機拍攝被釋放到檢查薄膜的液滴，檢查液滴的釋放狀態。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2018-8231號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

本發明提供高效地進行液滴的釋放狀態的調整的技術。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的一個方式的液滴釋放裝置包括輸送機構、釋放頭、第1介質輸送部、第2介質輸送部和攝像部。輸送機構沿輸送方向輸送工件。釋放頭對工件釋放功能液的液滴。第1介質輸送部在與輸送方向正交的方向上輸送能夠接收從釋放頭釋放的檢查用的液滴的第1檢查用介質。第2介質輸送部在正交的方向上輸送第2檢查用介質，該第2檢查用介質能夠接收從釋放頭釋放的檢查用的液滴，并與第1檢查用介質在輸送方向上并排配置。攝像部拍攝釋放到第1檢查用介質的液滴和釋放到第2檢查用介質的液滴。

發明效果

依照本發明，能夠高效地進行液滴的釋放狀態的調整。

附圖說明

圖1是表示實施方式的液滴釋放裝置的概要結構的左側視圖。

圖2是表示實施方式的液滴釋放裝置的概要結構的俯視圖。

圖3A是表示實施方式的操作區域的概要結構的俯視圖。

圖3B是表示實施方式的側壁的概要結構的側視圖。

圖3C是表示實施方式的功能液瓶的更換作業的一例的圖。

圖4是表示從X軸正方向觀察實施方式的檢查機構的一部分的概要結構的圖。

圖5是表示實施方式的滑動件從待機位置移動到第1釋放位置的狀態的概要圖。

圖6是表示實施方式的滑動件從第1釋放位置移動到第1拍攝位置的狀態的概要圖。

圖7是表示實施方式的滑動件從第1拍攝位置移動到待機位置的狀態的概要圖。

附圖標記說明

1 液滴釋放裝置

4 基片輸送機構(輸送機構)

6 描繪機構

7 檢查機構

8 控制裝置

62 承載器

63 噴頭(釋放頭)

70 滑動件

71 檢查臺

72 第1薄膜輸送部(第1介質輸送部)

72b 第1送出軸