[發明專利]一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置

在審

• 申請號: 202010551570.5
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN111696881A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 段玲玲
• 申請（專利權）人: 段玲玲
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;G03F7/42
• 代理公司: 北京勁創知識產權代理事務所(普通合伙) 11589
• 代理人: 曹玉清

本發明屬于晶圓領域，尤其是一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置，針對目前市場上的硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置使用不夠方便，不便于進行溶解操作，現提出如下方案：一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置，包括底座與溶解桶，所述底座的下端外表面固定安裝有支架，所述支架的下端活動安裝有滾輪，所述底座的上端固定安裝有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一側的位置固定安裝有安裝座，所述安裝座的上端活動連接有立柱。本發明中，通過滾輪上的減震結構是裝置移動更加穩定，通過可轉動的立柱能夠方便觀測裝置的使用，并且通過可升降的夾具能夠方便對晶圓進行光阻溶解操作。

技術領域

本發明涉及晶圓技術領域，尤其涉及一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，光阻，亦稱為光阻劑，是一個用在許多工業制程上的光敏材料。在硅晶圓制作過程中，需要通過溶解液將晶圓上多余的光阻溶解。

在晶圓光阻溶解過程中，工作人員不方便觀察晶圓光阻的溶解情況，不便于根據晶圓光阻的溶解情況對光阻的溶解進行記錄分析，因此，現在提出一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置。

發明內容

本發明提出的一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置，解決了目前市場上的硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置使用不夠方便，不便于進行溶解操作。

為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：一種硅晶圓光阻溶解過程觀測裝置，包括底座與溶解桶，所述底座的下端外表面固定安裝有支架，所述支架的下端活動安裝有滾輪，所述底座的上端固定安裝有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一側的位置固定安裝有安裝座，所述安裝座的上端活動連接有立柱，所述立柱的上端一側固定連接有連接臂，所述連接臂的一端固定連接有定位柱，所述定位柱的下端活動連接有活動桿，所述活動桿的下端固定安裝有夾具。

優選的，所述支架的上端中間固定安裝有支撐套管，所述支撐套管的上端活動連接有連接套管，所述連接套管的上端中間固定連接有安裝桿，所述連接套管的內部上端固定安裝有阻尼墊，所述連接套管的內部固定連接有減震彈簧，所述減震彈簧的兩端分別與支撐套管和阻尼墊固定連接，所述連接套管通過減震彈簧與支撐套管活動連接。

優選的，所述固定座的上端外表面開設有固定槽，所述固定槽的內部填充有橡膠板，所述固定座的上端位于固定槽的四周的位置均固定安裝有限位柱，所述限位柱的數量為三組，三組所述限位柱在固定座的上端呈三角形分布，所述限位柱的外表面固定安裝有橡膠圈。

優選的，所述安裝座的內部固定安裝有軸承，所述立柱的下端位于安裝座的內部的位置固定連接有連接軸，所述連接軸貫穿軸承與安裝座活動連接，所述立柱通過軸承與安裝座活動連接，所述立柱的外表面固定安裝有連接座，所述連接座呈筒狀結構，所述安裝座的上端外表面開設有滑槽，所述連接座的下端位于滑槽的內部的位置活動安裝有滾珠。

優選的，所述定位柱的內部開設有伸縮槽，所述伸縮槽的內部上方固定安裝有固定板，所述固定板的上端位于伸縮槽的內部的位置固定安裝有電機，所述電機的外表面固定安裝有接線盒，所述電機的下端固定連接有絲杠，所述伸縮槽的內壁下方固定安裝有導軌，所述活動桿的上端位于伸縮槽的內部的位置固定連接有滑座，所述絲杠貫穿滑座并延伸至活動桿的內部，所述活動桿通過絲杠與定位柱活動連接。

優選的，所述底座的前端外表面開設有檢修門，所述檢修門的外表面固定連接有安裝螺釘，安裝螺釘的數量為四組。

優選的，所述滾輪的數量為若干組，所述溶解桶的材質為玻璃，所述夾具位于溶解桶的內部。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：