[發明專利]一種三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體及其制備方法在審
| 申請號： | 202010549740.6 | 申請日： | 2020-06-16 |
| 公開（公告）號： | CN111704563A | 公開（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發明（設計）人： | 賀寶元;傅志偉;邵嚴亮;劉司飛;李遲 | 申請（專利權）人： | 徐州博康信息化學品有限公司 |
| 主分類號： | C07C311/09 | 分類號： | C07C311/09;C07C303/40;G03F7/027;G03F7/004 |
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| 地址： | 221327 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三氟磺酰胺六氫茚滿類 光刻 樹脂 單體 及其 制備 方法 | ||
1.一種三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述樹脂單體包括以下結構通式：
其中，R1和R2分別包括C1～C12烷基、雜烷基或連接鍵；R3包括氫、鹵素、C1～C12烷基或雜烷基。
2.根據權利要求1所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述R1和R2分別包括C1～C6烷基或連接鍵，所述R3包括氫或C1～C6烷基。
3.根據權利要求2所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體，其特征在于，所述樹脂單體包括以下結構：
其中所述R3包括氫或C1～C6烷基。
4.一種根據權利要求1-3任一所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1，將三氟磺酰類化合物加入到氨基六氫茚滿醇類化合物和堿混合液中，反應得到三氟磺酰胺六氫茚滿醇類化合物；
S2，將所述三氟磺酰胺六氫茚滿醇類化合物與丙烯酸類化合物混合，經過酯化反應，純化得到三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體。
5.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，所述氨基六氫茚滿醇類化合物和三氟磺酰類化合物的摩爾比為1:(1～1.5)，三氟磺酰類化合物和堿的摩爾比為1:(1～3)；所述三氟磺酰胺六氫茚滿醇類化合物和丙烯酸類化合物的摩爾比為1：(0.9～1)。
6.根據權利要求5所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，所述氨基六氫茚滿醇類化合物、三氟磺酰類化合物和堿的摩爾比為1:1:1.5；所述三氟磺酰胺六氫茚滿醇類化合物和丙烯酸類化合物的摩爾比為1：1。
7.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，S1中，所述氨基六氫茚滿醇類化合物包括以下結構：
8.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，S1中，所述三氟磺酰類化合物包括三氟甲基磺酰氯、三氟甲基磺酰氟或三氟甲烷磺酸酐中的一種。
9.根據權利要求4所述的三氟磺酰胺六氫茚滿類光刻膠樹脂單體的制備方法，其特征在于，S2中，所述丙烯酸類化合物包括丙烯酸酐、丙烯酰氯、甲基丙烯酸酐或甲基丙烯酰氯中的一種。
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