[發(fā)明專利]一種薄膜體聲波諧振器及其制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010549449.9
• 申請日: 2020-06-16
• 公開（公告）號: CN112039467A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃河
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H3/04;H01L41/047;H01L41/27
• 代理公司: 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

1.一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，包括：

第一襯底，所述第一襯底中設(shè)有第一空腔；

壓電疊層結(jié)構(gòu)，遮蓋所述第一空腔，所述壓電疊層包括從下至上依次設(shè)置在所述第一襯底上的第一電極、壓電層和第二電極，諧振器的有效諧振區(qū)包括所述第一電極、壓電層和第二電極在垂直于所述壓電層表面方向上相互重疊區(qū)域；

所述第一電極連續(xù)延伸，包括位于有效諧振區(qū)的第一電極諧振部和延伸至第一空腔外的第一電極引出部；所述第一電極引出部與所述第一電極諧振部的連接處遠(yuǎn)離壓電層凸起形成第一空隙；所述第一電極諧振部位于所述第一空腔的邊界內(nèi)；

所述第二電極連續(xù)延伸，包括位于有效諧振區(qū)的第二電極諧振部和延伸至第一空腔外的第二電極引出部，所述第二電極引出部與所述第二電極諧振部的連接處遠(yuǎn)離壓電層凸起形成第二空隙；所述第二電極諧振部位于所述第一空腔的邊界內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述壓電層的上表面和下表面均為平面，遮蓋所述第一空腔并延伸至第一空腔外。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一電極引出部、所述第二電極引出部在所述壓電層表面的投影相互錯開。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一空隙、所述第二空隙在所述壓電層上的投影圍成封閉的環(huán)形或具有間隙的環(huán)形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一電極引出部包括圍成所述第一間隙的第一架空部、延伸至無效諧振區(qū)作為第一信號連接端的第一搭接部；

所述第一搭接部環(huán)繞于所述第一電極諧振部的外周，或所述第一搭接部設(shè)置于所述第一電極諧振部的部分外周；

所述第一架空部環(huán)繞于所述第一電極諧振部的外周，或所述第一架空部設(shè)置于所述第一電極諧振部的部分外周。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第二電極引出部包括圍成所述第二間隙的第二架空部、延伸至無效諧振區(qū)作為第二信號連接端的第二搭接部。

所述第二延伸部環(huán)繞于所述第二電極諧振部的外周，或所述第二搭接部設(shè)置于所述第二電極諧振部的部分外周；

所述第二架空部環(huán)繞于所述第二電極諧振部的外周，或所述第二架空部設(shè)置于所述第二電極諧振部的部分外周。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，還包括第一凸起和/或第二凸起；

所述第一凸起位于所述第一電極表面并沿所述第一電極諧振部的邊緣分布，所述第一凸起為連續(xù)的整體或包括間斷設(shè)置的多個第一子凸起，所述第一凸起與所述第一空隙在所述壓電層表面的投影圍成封閉的或帶有間隙的環(huán)形；

所述第二凸起位于所述第二電極表面并沿所述第二電極諧振部的邊緣分布，所述第二凸起為連續(xù)的整體或包括間斷設(shè)置的多個第二子凸起，所述第二凸起與所述第二空隙在所述壓電層表面的投影圍成封閉的或帶有間隙的環(huán)形。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述第一凸起和所述第二凸起的材料包括介質(zhì)材料；或者，所述第一凸起的材料與所述第一電極的材料相同；和/或，所述第二凸起的材料與所述第二電極的材料相同。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，還包括第一介質(zhì)層和第二介質(zhì)層；

所述第一介質(zhì)層位于無效諧振區(qū)的壓電層上，所述第一介質(zhì)層與所述第一電極諧振部相互隔開，所述第一介質(zhì)層和所述第一電極引出部連續(xù)相接；

所述第二介質(zhì)層位于無效諧振區(qū)的壓電層上，所述第二介質(zhì)層與所述第二電極諧振部相互隔開，所述第二介質(zhì)層和所述第二電極引出部連續(xù)相接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述有效諧振區(qū)的邊緣區(qū)域還設(shè)有貫穿所述壓電層并連通所述第一空腔的空氣邊隙，所述空氣邊隙在所述壓電層的投影與所述第一架空部和所述第二架空部在所述壓電層的投影相互錯開，并圍成連續(xù)或間斷的環(huán)形。