[發明專利]一種晶片測試頭

在審

• 申請號: 202010548978.7
• 申請日: 2020-06-16
• 公開（公告）號: CN111653499A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 闕石男
• 申請（專利權）人: 蘇州艾方芯動自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/683
• 代理公司: 蘇州市指南針專利代理事務所(特殊普通合伙) 32268
• 代理人: 王友生

1.一種晶片測試頭，其特征在于，包括：

一座體，內部設有一光通道及一氣道，底部設有一接觸墊，該氣道連通該光通道能產生負壓吸力，該接觸墊具有一窗口，該窗口為該光通道出口；以及

一光源，設置于該座體內，面對該光通道投射光線至該窗口。

2.如權利要求1所述的晶片測試頭，其特征在于，該接觸墊用以與待測晶片接觸，該待測晶片尺寸大于該窗口，該接觸墊外壁具有多個定位凸點，多個該定位凸點中間為該窗口所在位置，且多個該定位凸點對應該待測晶片輪廓。

3.如權利要求1所述的晶片測試頭，其特征在于，該座體是由第一機體、第二機體、第三機體及第四機體依序串接固定在一起。

4.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該光通道貫穿設置于該第一機構、該第二機體及該第三機構，該氣道是連通分布于該第二機體、該第三機體及該第四機體。

5.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該氣道是在該第二機體處與該光通道相連通。

6.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該第二機體面對該第三機體外壁嵌設有一均光板，該均光板位于該光通道的路徑中。

7.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該光源為具有發光二極體的電路板，該電路板固定于該第三機體且將該光通道封閉，該發光二極體面對該光通道且能投射光線至該窗口。

8.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該第四機體設一氣源出入口，該氣源出入口為該氣道的供氣口。

9.如權利要求2所述的晶片測試頭，其特征在于，該第二機體與該第三機體外壁設有兩組對稱的快拆組件。