[發(fā)明專(zhuān)利]一種轉(zhuǎn)移方法及轉(zhuǎn)移系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010547333.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112967973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李欣曈;洪溫振;柘濤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 重慶康佳光電技術(shù)研究院有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;H01L33/62
• 代理公司: 深圳市君勝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44268
• 代理人: 徐凱凱

1.一種轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，包括：

提供一液體，將多種待轉(zhuǎn)移的微型發(fā)光元件置于所述液體中，并使各種所述微型發(fā)光元件之間形成高度差；所述微型發(fā)光元件包括倒裝型微型發(fā)光元件，所述倒裝型微型發(fā)光元件的電極設(shè)置在同一側(cè)；

提供一轉(zhuǎn)移裝置，所述轉(zhuǎn)移裝置包括多種拾取頭，各種所述拾取頭的長(zhǎng)度不同；

待不同長(zhǎng)度的所述拾取頭分別與位于所述液體中不同高度的所述微型發(fā)光元件接觸后，拾取所述微型發(fā)光元件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，還包括：

提供一背板，所述背板上設(shè)置有多種導(dǎo)電柱，各種所述導(dǎo)電柱具有不同的承接高度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，還包括：

將多種所述拾取頭上的所述微型發(fā)光元件對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)移到多種所述導(dǎo)電柱上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移方法還包括：

在所述拾取頭上設(shè)置第一膠層。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述拾取所述微型發(fā)光元件包括：

將設(shè)置有所述第一膠層的所述拾取頭與所述微型發(fā)光元件相接觸；

對(duì)所述拾取頭進(jìn)行加熱；

待所述微型發(fā)光元件固化在所述拾取頭上后，將所述拾取頭從所述液體中取出。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述將所述拾取頭上的所述微型發(fā)光元件轉(zhuǎn)移到所述導(dǎo)電柱上包括：

在所述導(dǎo)電柱上設(shè)置第二膠層；

調(diào)整所述轉(zhuǎn)移裝置的位置，使所述拾取頭上的不同微型發(fā)光元件分別與不同承接高度的所述導(dǎo)電柱接觸；

對(duì)所述拾取頭進(jìn)行降溫；

待所述微型發(fā)光元件從所述拾取頭上釋放后，通過(guò)所述第二膠層將所述微型發(fā)光元件鍵合在所述背板的導(dǎo)電柱上。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述拾取頭包括金屬陶瓷拾取頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述第一膠層包括熱固膠層。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移方法，其特征在于，所述微型發(fā)光元件包括倒裝型微型發(fā)光元件。

10.一種轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，其特征在于，包括：

液體槽，用于盛放液體，所述液體中放置有多種微型發(fā)光元件，各種所述微型發(fā)光元件之間形成高度差；所述微型發(fā)光元件包括倒裝型微型發(fā)光元件，所述倒裝型微型發(fā)光元件的電極設(shè)置在同一側(cè)；

轉(zhuǎn)移裝置，所述轉(zhuǎn)移裝置包括多種拾取頭，各種所述拾取頭的長(zhǎng)度不同，待不同長(zhǎng)度的所述拾取頭分別與位于所述液體中不同高度的所述微型發(fā)光元件接觸后，拾取所述微型發(fā)光元件。