[發(fā)明專利]一種兩端帶水冷的工藝管在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010545036.3 | 申請日： | 2020-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN111551037A | 公開（公告）日： | 2020-08-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 張海林;劉國霞;吳季浩 | 申請（專利權）人： | 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | F27D9/00 | 分類號： | F27D9/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266000 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 兩端 水冷 工藝 | ||
1.一種兩端帶水冷的工藝管，包括工藝管主體(1)、水冷套(2)、進出水嘴(3)、前后固定法蘭(4)、爐門密封圈(6)、工藝管密封圈(7)、密封壓緊法蘭(5)后爐門(8)、前爐門(9)、片舟和硅片(11)和設備架體(12)，其特征在于：所述設備架體(12)的內壁通過前后固定法蘭(4)固定安裝有工藝管主體(1)，所述工藝管主體(1)兩端靠近設備架體(12)的位置處通過前后固定法蘭(4)固定安裝有水冷套(2)，且水冷套(2)的表面套設有密封壓緊法蘭(5)和工藝管密封圈(7)，所述設備架體(12)的一側外壁通過爐門密封圈(6)固定安裝有前爐門(9)，所述設備架體(12)的另一側外壁通過爐門密封圈(6)固定安裝有后爐門(8)，所述工藝管主體(1)的外表面固定套裝有加熱器(10)，且工藝管主體(1)內部設置有片舟和硅片(11)。
2.根據權利要求1所述的一種兩端帶水冷的工藝管，其特征在于：所述工藝管主體(1)兩端的端口上下處皆設置有進出水嘴(3)，且進出水嘴(3)設置有兩組。
3.根據權利要求1所述的一種兩端帶水冷的工藝管，其特征在于：所述前后固定法蘭(4)和密封壓緊法蘭(5)之間的位置處壓緊有工藝管密封圈(7)，且水冷套(2)、密封壓緊法蘭(5)和前后固定法蘭(4)之間通過工藝管密封圈(7)進行壓緊密封。
4.根據權利要求1所述的一種兩端帶水冷的工藝管，其特征在于：所述水冷套(2)的內部皆開設有冷卻水道(14)，且冷卻水道(14)與爐門密封圈(6)和工藝管密封圈(7)緊密貼合。
5.根據權利要求1所述的一種兩端帶水冷的工藝管，其特征在于：所述爐門密封圈(6)設置有兩組，所述前爐門(9)和后爐門(8)之間通過爐門密封圈(6)形成密閉工藝腔室。
6.根據權利要求1所述的一種兩端帶水冷的工藝管，其特征在于：所述后爐門(8)中心處設置有抽氣口(13)，抽氣口(13)與工藝管主體(1)內部相連通，且抽氣口(13)在后爐門(8)的外側，固定安裝有尾排系統(未標示)。
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