[發(fā)明專利]一種濺射靶材回收處理裝置及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010543848.4
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN111748693A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳景暉;徐超;宋彥明;姚力軍
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波創(chuàng)潤新材料有限公司
• 主分類號: C22B7/00
• 分類號: C22B7/00;C22B15/00;C22B21/00;C22B34/12;C22B34/24
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 郎祺

1.一種濺射靶材回收處理裝置，包括爐體和用于支撐所述爐體的爐體支架(11)，其特征在于，所述爐體一側(cè)設(shè)置有抽屜式爐門(1)；所述爐體內(nèi)設(shè)置有若干裝料支架(2)，靶材組件(3)傾斜置于所述裝料支架(2)上，所述靶材組件(3)包括靶材和與所述靶材連接的背板，相鄰兩個所述靶材組件(3)之間留有投影間隙；所述爐體上還設(shè)置有壓力表(5)、保護氣體閥門(6)、放氣閥(7)和真空泵(8)，所述真空泵(8)連通所述爐體內(nèi)部；位于所述爐體下方且連通所述爐體內(nèi)部設(shè)置有澆鑄模具(10)，所述爐體與所述澆鑄模具(10)的外表面包覆有保溫層(9)；所述爐體外壁和保溫層(9)之間設(shè)置有電阻絲加熱帶(4)，所述電阻絲加熱帶(4)與所述爐體外壁之間留有空隙，且所述電阻絲加熱帶(4)嵌在所述保溫層(9)上，所述電阻絲加熱帶(4)遠(yuǎn)離所述抽屜式爐門(1)和澆鑄模具(10)設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶材回收處理裝置，其特征在于，所述爐體內(nèi)壁設(shè)置有滑軌，所述抽屜式爐門(1)通過所述滑軌與所述爐體滑移連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶材回收處理裝置，其特征在于，所述靶材組件(3)與水平面之間的夾角為85-90°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶材回收處理裝置，其特征在于，所述爐體底部為類似漏斗狀的斜坡結(jié)構(gòu)，所述斜坡與水平面之間的夾角為10-30°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶材回收處理裝置，其特征在于，所述澆鑄模具(10)與所述爐體之間通過螺栓可拆卸密封連接。

6.一種濺射靶材回收處理方法，其特征在于，包括：采用如權(quán)利要求1-5任一項所述的濺射靶材回收處理裝置進行物理分離方法，分離所述除靶材和所述背板材料至所述靶材表面無明顯背板材料殘留；以及采用化學(xué)反應(yīng)分離方法對所述靶材上殘留的背板材料進行處理，去除所述靶材上殘留的背板材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濺射靶材回收處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、去除所述靶材組件(3)表面污漬、清洗、晾干，將所述靶材組件(3)置于所述裝料支架(2)上，關(guān)閉所述抽屜式爐門(1)；

S2、開啟所述真空泵(8)，對爐內(nèi)抽真空；關(guān)閉所述真空泵(8)，開啟所述保護氣體閥門(6)，充入保護氣體，并通過控制所述放氣閥(7)與所述保護氣體閥門(6)使?fàn)t內(nèi)氣氛保持在一定絕對壓力范圍內(nèi)；

S3、通電升溫至背板材料熔點以上，并保溫一段時間，斷電，所述背板材料經(jīng)爐底部斜坡流入所述澆鑄模具(10)中；對爐內(nèi)降溫，打開所述放氣閥(7)將爐內(nèi)氣體排出，打開所述抽屜式爐門(1)，取出所述靶材，將所述靶材置于酸液或堿液中浸泡、取出、清洗、干燥，即得純凈的所述靶材；拆卸所述澆鑄模具(10)，將其中的所述背板材料鑄錠取出，即得純凈的所述背板材料。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濺射靶材回收處理方法，其特征在于，S1中，采用洗潔精或去污粉去除所述靶材組件(3)表面污漬。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濺射靶材回收處理方法，其特征在于，S2中，所述爐內(nèi)抽真空至10Pa以下；充入所述保護氣體至爐內(nèi)絕對壓力為0.11-0.12MPa。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的濺射靶材回收處理方法，其特征在于，S3中，通電升溫至所述背板材料熔點以上20-50℃，且所述保溫時間為0.5-1h；S3中，采用水套將所述爐內(nèi)溫度降低至60℃以下。