[發(fā)明專利]氧化鋅納米材料及其制備方法、半導(dǎo)體器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010543012.4
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN113809245B
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李俊杰;張?zhí)焖?/a>;郭煜林
• 申請（專利權(quán)）人: TCL科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/54;B82Y30/00
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 黃志云

1.一種氧化鋅納米材料，其特征在于，所述氧化鋅納米材料包括ZnO納米顆粒，以及結(jié)合在所述ZnO納米顆粒上的表面配體，所述表面配體的結(jié)構(gòu)如下式1所示，

式1中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵各自獨立地選自氫、碳原子數(shù)為1～3的烷氧基、氨基中的至少一種；且R¹、R²、R³、R⁴、R⁵中含有1～3個碳原子數(shù)為1～3的烷氧基和0～1個氨基；

其中，在烷氧基苯基酰胺結(jié)構(gòu)的表面配體中，烷氧基中的氧空鍵與ZnO納米顆粒中懸空的Zn鍵結(jié)合；

碳原子數(shù)為1～3的烷氧基為表面配體與氧化鋅納米顆粒的結(jié)合提供結(jié)合位點。

2.如權(quán)利要求1所述的氧化鋅納米材料，其特征在于，式1中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵中含有2個碳原子數(shù)為1～3的烷氧基和0～1個氨基；且至少R²或R³選自碳原子數(shù)為1～3的烷氧基。

3.如權(quán)利要求1或2所述的氧化鋅納米材料，其特征在于，所述表面配體選自對甲氧基苯甲酰胺、間甲氧基苯甲酰胺、鄰甲氧基苯甲酰胺、對乙氧基苯甲酰胺、間乙氧基苯甲酰胺、鄰乙氧基苯甲酰胺、2,5-二甲氧基苯甲酰胺、3,5-二甲氧基苯甲酰胺、2,4-二甲氧基苯甲酰胺、3,4-二甲氧基苯甲酰胺、5-氨基-4-甲氧基苯甲酰胺中的至少一種。

4.如權(quán)利要求3所述的氧化鋅納米材料，其特征在于，所述氧化鋅納米材料由ZnO納米顆粒以及結(jié)合在所述ZnO納米顆粒上的表面配體組成。

5.如權(quán)利要求1、2、4任一項所述的氧化鋅納米材料，其特征在于，所述氧化鋅納米材料中，所述ZnO納米顆粒與結(jié)合在所述ZnO納米顆粒上的表面配體的摩爾比為1:5～1:50。

6.一種氧化鋅納米材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

配制ZnO納米顆粒和表面配體的混合溶液；其中，表面配體的結(jié)構(gòu)如下式1所示，

式1中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵各自獨立地選自氫、碳原子數(shù)為1～3的烷氧基、氨基中的至少一種；且R¹、R²、R³、R⁴、R⁵中含有1～3個碳原子數(shù)為1～3的烷氧基和0～1個氨基；

將所述ZnO納米顆粒和表面配體的混合溶液反應(yīng)，制備含有表面配體的氧化鋅納米顆粒；

其中，在烷氧基苯基酰胺結(jié)構(gòu)的表面配體中，烷氧基中的氧空鍵與ZnO納米顆粒中懸空的Zn鍵結(jié)合；

碳原子數(shù)為1～3的烷氧基為表面配體與氧化鋅納米顆粒的結(jié)合提供結(jié)合位點。

7.如權(quán)利要求6所述的氧化鋅納米材料的制備方法，其特征在于，式1中，R¹、R²、R³、R⁴、R⁵中含有2個碳原子數(shù)為1～3的烷氧基和0～1個氨基；且至少R²或R³選自碳原子數(shù)為1～3的烷氧基。

8.如權(quán)利要求6所述的氧化鋅納米材料的制備方法，其特征在于，所述表面配體選自對甲氧基苯甲酰胺、間甲氧基苯甲酰胺、鄰甲氧基苯甲酰胺、對乙氧基苯甲酰胺、間乙氧基苯甲酰胺、鄰乙氧基苯甲酰胺、2,5-二甲氧基苯甲酰胺、3,5-二甲氧基苯甲酰胺、2,4-二甲氧基苯甲酰胺、3,4-二甲氧基苯甲酰胺、5-氨基-4-甲氧基苯甲酰胺中的至少一種。