[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械平坦化工具在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010542306.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-06-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN112238395A | 公開（公告）日： | 2021-01-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 龔俊豪;王上瑜;蔡晴翔;黃惠琪;陳科維 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/10 | 分類號(hào)： | B24B37/10;B24B37/04;B24B37/32;H01L21/768 |
| 代理公司： | 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 聶慧荃;閆華 |
| 地址： | 中國臺(tái)*** | 國省代碼： | 臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 化學(xué) 機(jī)械 平坦 化工 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種化學(xué)機(jī)械平坦化工具，包括：
一載體；
一保持環(huán)，附接至該載體，且配置以在一化學(xué)機(jī)械平坦化工藝期間固持一晶片；以及
一兆聲波產(chǎn)生器，附接至該載體，且配置以在該化學(xué)機(jī)械平坦化工藝期間產(chǎn)生多個(gè)振動(dòng)。
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